微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题
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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗EDI(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(SiH₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(AsH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pipe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber):每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体的传感器(GDS, Gas Detection System)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Interlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多
北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)
天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)
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秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)
邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)
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随着短剧市场的迅猛发展,一批优秀的短剧女演员崭露头角,她们以精湛的演技、独特的魅力赢得了观众的喜爱与追捧。9月10日,经过网友们的热烈评选和业内人士的综合考量,2025年度中国十大短剧女神榜单正式出炉,引发了广泛关注和讨论。 余茵,凭借《好一个乖乖女》中“双面千金”的惊艳演绎走红,堪称2025年短剧行业现象级人物。毕业于燕京理工学校的她并非科班出身,却凭借极具感染力的“眼技”征服观众,剧中从柔弱小白花切换成黑化复仇者的眼神转变片段,在抖音引发百万级二创。其经纪团队透露,余茵选片注重角色人格弧光,避免同质化甜宠人设 ,展现出前瞻性的演艺规划。 徐艺真,这位毕业于浙江传媒学院表演系的女演员,是当之无愧的“短剧女王”。她与孙樾的CP组合曾风靡短剧圈,代表作《哎呀!皇后娘娘来打工》更是创下24小时充值破1200万的惊人记录。徐艺真演技细腻多变,无论是古装剧还是现代剧,搞笑角色还是深情角色,都能驾驭得游刃有余,深受观众喜爱 。 王格格,被称作“短剧界劳模”,全年高强度驻扎剧组。土木工程专业出身的她将工程思维融入表演,开拍前绘制人物关系脑图、标注情绪爆发节点。她的作品众多,如《玫瑰冠冕》《厉总的新婚罪妻》等,戏路宽广,能轻松驾驭豪门千金、职场精英等多种角色,抖音账号粉丝转化率高达22%,远超行业均值 。 马秋元,短剧圈公认的“甜妹天花板”,哭戏感染力十足。西安工业大学经济学专业背景赋予她独特的理性思维,使其在表演中展现出天然的松弛感。在《咬清梨》中,她塑造的商战女强人打破了短剧女主“傻白甜”的窠臼,与张集骏组成的CP深入人心,代表作品还有《大叔乖乖宠我2》《痴傻千金三叔宠我入骨》等 。 姜十七,坐拥3000万抖音粉丝,从短视频创作者成功转型短剧演员,被观众称为“短剧界的周冬雨”。她的表演风格独特,能精准把握角色特点,代表作品有《契约成婚》《霸道少爷爱上我》等,在短剧中展现出了强大的表演实力 。 赵夕汐毕业于北京舞蹈学院,从古典舞者转型为演员。她擅长将舞蹈功底融入表演,古装短剧中身段轻盈,现代剧里气场全开,被观众称为“短剧界的张曼玉”。在《爱在黎明前降落》中,她设计的“暴风哭泣”镜头——眼眶通红却不让泪水滑落的微表情控制,被观众称为“破碎感美学天花板” 。 滕泽文模特出身,因在短剧中饰演敢爱敢恨的“后妈”爆红,2025年转型制片,参与监制短剧《野蔷薇不低头》,被业内视为“短剧版赵丽颖”。她在表演中展现出的自信与魅力,以及对角色的深刻理解,让观众印象深刻 。 李佳桐,中国内地女演员,2005年6月1日出生于吉林长春,身高169,体重44公斤,就读北京服装学院表演专业,曾赴英国伦敦音乐与戏剧艺术学院公费交流学习,2021年11月作为“美食品鉴官”参与中央电视台《厨王争霸》节目录制,2021年12月作为嘉宾参与中央电视台《我要上春晚》节目录制,参演电视剧《玫瑰的故事》,在网剧《山神》饰演白陶 ,参演《再见倾心》《女侠请留步》《渣总别追,大小姐辞职了》《女政协委员》《爱的疗愈之约》《龙宝上洛》《我的闪婚老公竟是闺蜜大哥》《陛下克妻 掌公主嫁到》《恃宠!佛子叔叔又在哄小娇妻》等多部短剧,并在第十届乌镇戏剧节古镇嘉年华《遗梦》担任女主。 杨咩咩以“纯欲萝莉”形象走红,与于龙组成的“最萌身高差CP”屡屡出圈。她的代表作品有《世界对我温柔以待》《秦爷的小哑巴》等,在剧中的自然表演和可爱形象吸引了众多粉丝 。 刘念最初是以AKB48 Team SH一期生身份出道,后来转型成为演员。她出演的《初夏的甜蜜约定》《亲爱的宋小姐》等短剧,凭借俏皮可爱的面容和元气满满的青春活力形象深受观众喜爱,在短剧领域逐渐崭露头角 。 这十位短剧女神在各自的作品中展现出了非凡的演技和独特的魅力,她们的成功不仅为短剧行业注入了新的活力,也为更多怀揣演艺梦想的人树立了榜样。相信在未来,她们将继续带来更多精彩的作品,推动短剧行业迈向更高的台阶。返回搜狐,查看更多
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