文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 ⭐9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体😀外泄事件。 事故发生后，厂区立即启动应急广播并紧急疏散😜员工。尽管如此，仍有12名现场人员因吸入气体产生不适，被送往🌟医院接受治疗。 经初步调查，事故起因为一楼废酸液（含双❤️氧水与盐酸）回收管路破裂，导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物🤗使用和贮存区域，因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公🤩司表示，始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环👏境，但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目😘前，中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查，待调查结果🔥出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示，正在核查美光的应急措💯施是否符合规定，若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警🎉告通知作业办法》，将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 🌟 Fab不仅是技术创新的殿堂，更是一个需要应对全方位、多😉层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技🙌竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 😀 在制作晶圆或半导体器件的过程中，是会用到酒精等易燃易爆化学😆试剂；晶圆加工的熔炉，温度高达上千度；一点小失误，就会擦枪走🤩火。可见，本行业是“易上火体质”。 近年来，半导体行业🎉气体泄漏事件时有发生，其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制😴造企业，由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量👍报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日，位于南😅京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起🤗火，经过消防队员两个多小时的奋战，大火最终被控制。事故没有造💯成人员伤亡。 2013年9月4日，韩国海力士半导体位于😜江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府🙌新闻办官方微博“无锡发布”消息，事故是因为海力士公司生产车间🌟气体泄漏，引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2🙌021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报，LG显示器公⭐司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事🤔故，导致工厂内7人受伤，其中2人伤势严重! 2021年🤩4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂，发生了氢氟😢酸泄漏事故，导致3名工人受伤。 2021年5月1日，汕😢尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗ED👏I（电子去离子）系统纯水箱过程中发生窒息事故，致4人死亡，直🤗接经济损失约480万元。 2023年8月15日，台南市❤️一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件，363人疏散，未造成人⭐员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有😎害气体 晶圆厂（Fab）是一个高度复杂但同时潜藏大量高🤯危因素的地方，虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间，但其🌟背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 🔥在半导体生产制造过程中，特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料⭐，品类多达上百种，被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、🚀成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时，在半导体😉生产制造过程中，还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般😢尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微，这些气体一旦发生泄漏😡，会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃👏、易燃的可燃气体。如氢气H2，氨气NH3，磷化氢PH3等； 🌟 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化😢氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化😁氢HF等； 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害，但惰性🤔气体具有室息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事😴故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等； 氧化性气体🥳有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等，如三😎氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气（H₂）：氢气🥳是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易🤩燃的特性，其燃烧范围很宽，在空气中的体积分数为4.0% - 😆75.6%时，遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中，😉即使是一个小的静电火花或者高温表面，都可能引发氢气燃烧，导致😅火灾甚至爆炸。例如，当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间😂（如电气设备附近）时，危险系数会急剧上升。 硅烷（Si🤔H₄）：硅烷是一种高度易燃的气体，用于化学气相沉积（CVD）👏工艺，该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能😁自燃，自燃温度约为420℃，一旦泄漏，容易被周围环境中的热源😜（如设备运行产生的热量）点燃，引发火灾。 甲烷（CH₄🔥）：甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程，其燃点较低，在空气中的浓度😉达到一定值时，遇明火易发生爆炸。 乙炔（C₂H₂）：乙🤩炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用，属于易燃易爆气体，爆😴炸极限范围较宽，在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发😂生爆炸。在含有乙炔的系统中，如果气体压力过高、温度异常或者遇👍到强烈的震动等情况，都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这🙌种存在大量电气设备和精密仪器的场所，乙炔爆炸可能会造成严重的❤️设备损坏和人员伤亡。 磷化氢（PH₃）：磷化氢是一种无🤗色、剧毒且易燃的气体，主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质😎源。它与空气混合可形成易燃的混合物，具有爆炸风险。 乙🚀硼烷（B₂H₆）：乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体，极易燃，常😍温下为无色气体，可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢（A😡sH3）：有剧毒，用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中😊N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaA🙌sP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建👏“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气🤔体攻防战”，现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站❤️或生物实验室的“纵深防御”体系，将危险层层拦截，确保这座创新🙄殿堂的平稳运行。 第一道防线：物理隔离与工程控制（被动😎防御） 空间分隔：将最高危的区域（如特气间、化学品供应站）🤯与主生产区（Ballroom）通过防火墙、防爆墙物理隔离，即😁使发生事故，也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送🎉系统：所有化学品和特殊气体都通过双套管（Pipe-in-Pi❤️pe）输送。内管输送介质，外管（Scabbard）充入惰性气🔥体或连接抽气系统，一旦内管泄漏，危险物质会被立即抽走或警示，💯防止进入Fab环境。 就地处理系统（Scrubber）👍：每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产😂生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质，这是防止👍气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线：监测与预警（主动侦🤯察） “电子鼻”网络：Fab内遍布着成千上万个不同气体⭐的传感器（GDS, Gas Detection System😆）。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度，一旦😢达到预警阈值，立即在中央控制室报警。 联锁系统（Int😀erlock）：这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如：“如😴果氢气传感器报警，就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发，就😎自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实😁现瞬时自动响应的关键。 第三道防线：流程与人员 🤯严格的准入与操作流程（SOP），进入特定区域需要特殊授权，任😡何操作，哪怕是更换一个气瓶，都必须遵循详细的SOP，确保每一😁步都可控。另外，常态化应急演练：定期举行全厂范围的泄漏、火灾😅、地震演练，让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么，不😎该做什么，往哪里疏散”，将应急反应变成肌肉记忆。 美光🚀事件中的管路破裂，正是对第一道防线完整性的考验，而应急广播和🙄疏散，则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于，承认任何单一🤔环节都可能失效，因此通过多层备份与智能联动，确保即使一道防线😉被突破，后续防线仍能有效响应，将事故扼杀在萌芽状态，从而维系💯着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐，查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)

唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)

9月30日，记者从三一硅能获悉，近日，随着矿区各生产单元稳定🙄受电，三一硅能赞比亚佳航矿山10MW+33MWh微电网项目顺🤩利投运。这是三一硅能在赞比亚成功投运的又一标志性项目，也是三❤️一集团深化全球绿色能源布局、赋能非洲可持续发展的实践。 😆 上证报中国证券网讯（记者 夏子航）9月30日，记者从三一硅😴能获悉，近日，随着矿区各生产单元稳定受电，三一硅能赞比亚佳航😢矿山10MW+33MWh微电网项目顺利投运。这是三一硅能在赞😆比亚成功投运的又一标志性项目，也是三一集团深化全球绿色能源布😁局、赋能非洲可持续发展的实践。 据介绍，佳航矿山项目配😢置10MWp高效光伏系统与33MWh智能化储能电池系统，同时😉集成柴油发电作为可靠备用，采用了大功率储能构网技术与智慧能量🙄管理平台，实现对光伏、储能及柴油发电的多能协同与稳定控制，构🔥建起安全、高效、绿色的矿区综合能源体系，全面满足矿山生产与生😀活营地的电力需求。 该项目投运后，依托智能调控系统有效🤔平滑光伏出力波动，可实现矿区关键负荷全天候不间断供电，显著降🚀低对传统柴油发电的依赖，从根本上解决矿区长期面临的供电不稳定😀、用电成本高、电能质量差等痛点。同时，项目运行将大幅减少矿区😜碳排放与噪音污染，改善当地生态环境与员工生活条件，树立绿色矿😆山能源建设新标杆。 三一硅能表示，佳航矿山微电网项目的😆成功运行，是三一全球化战略与清洁能源技术深度融合的又一成果，😜彰显了三一硅能在国际能源工程与服务领域的综合竞争力。面向未来🔥，三一硅能将继续拓展海外市场，依托“三一速度”与“三一品质”😉，为全球客户提供更卓越的清洁能源系统解决方案，助推全球能源结🤗构转型。返回搜狐，查看更多