文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 😡9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体😆外泄事件。 事故发生后，厂区立即启动应急广播并紧急疏散😊员工。尽管如此，仍有12名现场人员因吸入气体产生不适，被送往❤️医院接受治疗。 经初步调查，事故起因为一楼废酸液（含双😜氧水与盐酸）回收管路破裂，导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物🔥使用和贮存区域，因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公🥳司表示，始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环🥳境，但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目😉前，中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查，待调查结果😡出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示，正在核查美光的应急措❤️施是否符合规定，若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警😡告通知作业办法》，将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 👏 Fab不仅是技术创新的殿堂，更是一个需要应对全方位、多😁层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技🤔竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 😘 在制作晶圆或半导体器件的过程中，是会用到酒精等易燃易爆化学🙄试剂；晶圆加工的熔炉，温度高达上千度；一点小失误，就会擦枪走😜火。可见，本行业是“易上火体质”。 近年来，半导体行业😉气体泄漏事件时有发生，其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制🤯造企业，由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量🎉报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日，位于南😎京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起😂火，经过消防队员两个多小时的奋战，大火最终被控制。事故没有造😆成人员伤亡。 2013年9月4日，韩国海力士半导体位于👍江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府🙌新闻办官方微博“无锡发布”消息，事故是因为海力士公司生产车间🔥气体泄漏，引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2👏021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报，LG显示器公🎉司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事😢故，导致工厂内7人受伤，其中2人伤势严重! 2021年😉4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂，发生了氢氟😅酸泄漏事故，导致3名工人受伤。 2021年5月1日，汕😡尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗ED🙄I（电子去离子）系统纯水箱过程中发生窒息事故，致4人死亡，直😎接经济损失约480万元。 2023年8月15日，台南市😁一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件，363人疏散，未造成人🤗员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有😊害气体 晶圆厂（Fab）是一个高度复杂但同时潜藏大量高😂危因素的地方，虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间，但其😍背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 😘在半导体生产制造过程中，特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料🤗，品类多达上百种，被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、🎉成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时，在半导体🤯生产制造过程中，还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般🤔尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微，这些气体一旦发生泄漏🤗，会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃😊、易燃的可燃气体。如氢气H2，氨气NH3，磷化氢PH3等； 🙄 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化😊氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化😆氢HF等； 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害，但惰性😜气体具有室息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事😴故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等； 氧化性气体😊有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等，如三😂氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气（H₂）：氢气🚀是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易⭐燃的特性，其燃烧范围很宽，在空气中的体积分数为4.0% - 😀75.6%时，遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中，❤️即使是一个小的静电火花或者高温表面，都可能引发氢气燃烧，导致😍火灾甚至爆炸。例如，当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间🎉（如电气设备附近）时，危险系数会急剧上升。 硅烷（Si😢H₄）：硅烷是一种高度易燃的气体，用于化学气相沉积（CVD）🌟工艺，该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能😡自燃，自燃温度约为420℃，一旦泄漏，容易被周围环境中的热源😍（如设备运行产生的热量）点燃，引发火灾。 甲烷（CH₄🎉）：甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程，其燃点较低，在空气中的浓度💯达到一定值时，遇明火易发生爆炸。 乙炔（C₂H₂）：乙😴炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用，属于易燃易爆气体，爆😊炸极限范围较宽，在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发😍生爆炸。在含有乙炔的系统中，如果气体压力过高、温度异常或者遇🚀到强烈的震动等情况，都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这🙄种存在大量电气设备和精密仪器的场所，乙炔爆炸可能会造成严重的🚀设备损坏和人员伤亡。 磷化氢（PH₃）：磷化氢是一种无🤔色、剧毒且易燃的气体，主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质😴源。它与空气混合可形成易燃的混合物，具有爆炸风险。 乙🙄硼烷（B₂H₆）：乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体，极易燃，常😎温下为无色气体，可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢（A😉sH3）：有剧毒，用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中🌟N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaA😅sP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建😘“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气😆体攻防战”，现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站😆或生物实验室的“纵深防御”体系，将危险层层拦截，确保这座创新💯殿堂的平稳运行。 第一道防线：物理隔离与工程控制（被动💯防御） 空间分隔：将最高危的区域（如特气间、化学品供应站）❤️与主生产区（Ballroom）通过防火墙、防爆墙物理隔离，即👏使发生事故，也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送😴系统：所有化学品和特殊气体都通过双套管（Pipe-in-Pi💯pe）输送。内管输送介质，外管（Scabbard）充入惰性气😁体或连接抽气系统，一旦内管泄漏，危险物质会被立即抽走或警示，🤔防止进入Fab环境。 就地处理系统（Scrubber）😜：每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产😂生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质，这是防止🙌气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线：监测与预警（主动侦🤔察） “电子鼻”网络：Fab内遍布着成千上万个不同气体🤩的传感器（GDS, Gas Detection System😊）。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度，一旦🙌达到预警阈值，立即在中央控制室报警。 联锁系统（Int👏erlock）：这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如：“如😁果氢气传感器报警，就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发，就🥳自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实😜现瞬时自动响应的关键。 第三道防线：流程与人员 😊严格的准入与操作流程（SOP），进入特定区域需要特殊授权，任😜何操作，哪怕是更换一个气瓶，都必须遵循详细的SOP，确保每一❤️步都可控。另外，常态化应急演练：定期举行全厂范围的泄漏、火灾😎、地震演练，让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么，不🚀该做什么，往哪里疏散”，将应急反应变成肌肉记忆。 美光👍事件中的管路破裂，正是对第一道防线完整性的考验，而应急广播和🥳疏散，则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于，承认任何单一🤯环节都可能失效，因此通过多层备份与智能联动，确保即使一道防线🤯被突破，后续防线仍能有效响应，将事故扼杀在萌芽状态，从而维系😀着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐，查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)

唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)

“吃瓜吃到自己买的基金身上。” 近期，港股创新药企业药💯捷安康股价出现大幅波动，引发市场广泛关注，而由于药捷安康被“🎉悄然”纳入了包括国证港股通创新药指数在内的多只指数，导致相关😁ETF被动买入，更是引发了众多投资者在社交平台上声讨。 😜 这一极端个案不仅让众多基民“踩雷”，更将指数编制规则的潜在😊漏洞与ETF规模扩张带来的“双刃剑”效应，再次推至聚光灯下。🙄 ETF“踩雷”药捷安康 公开资料显示，药捷安康🌟于2025年6月23日在港股上市，是一家以临床需求为导向、处🤩于注册临床阶段的生物制药公司，专注于发现及开发肿瘤、炎症及心🌟脏代谢疾病小分子创新疗法。 上市近三个月以来，药捷安康🎉的股价一直处于小幅上涨的态势，直到9月8日被纳入港股通，同时😆被纳入恒生综合指数、恒生综合中小型股指数、恒生医疗保健指数、🌟恒生创新药指数等9只恒生系列指数，短期内形成集中买盘，开启了🎉“狂飙”模式。 Wind数据显示，自9月8日药捷安康被😎调入港股通标的以来，南向资金持续加码，截至9月15日净买入3🚀06.25万股，公司股价在9月12日上涨77.09%，9月1😜5日更是大涨115.58%，令人咋舌。 但到了9月16💯日，药捷安康突然上演高台跳水，其股价虽然早盘一度大涨63%，🚀但下午便断崖下跌，截至收盘下跌53.73%，股价从679.5😜港元/股掉落至192港元/股，堪比“过山车”。 这一巨😁幅波动引起了众多投资者关注，于是，有投资者发现，自9月15日😢起，药捷安康“悄然”出现在了多只跟踪国证港股创新药指数的ET😊F的申赎清单中。 这主要是因为9月15日，国证港股通创😂新药指数实施了季度定期调整，药捷安康被纳入成份股。以同类产品👍中最大的港股通创新药ETF为例，9月15日，该ETF买入药捷😅安康300万股，按前一个交易日收盘价计算对应金额约5.78亿⭐港元，占基金净值比约2.62%。国证指数公司信息显示，全市场🌟共有5只ETF跟踪国证港股通创新药指数，合计规模约359.6🙄3亿元，以2.62%占比来计算，ETF被动买入金额约9.4亿🔥元。 但在刚刚纳入指数成份股，药捷安康便遭遇巨幅回调，⭐不少投资者感叹“躺着也中枪”。 9月17日，药捷安康股⭐价有所回升，截至收盘上涨8.96%，但距离最高点仍然有近70😉%的回调。 指数调整与编制方法存在漏洞 在“踩雷🙌”药捷安康的背后，此次国证港股通创新药指数的样本调整与编制方🤩法也备受争议。 首先，按照该指数的样本股调整规定，国证😂港股通创新药指数实施季度定期调整，于每年 3 月、6 月、9🤩 月和12 月的第二个星期五的下一个交易日实施，即9月15日⭐正式实施今年三季度的定期调整。 但对于此次调整，国证指😁数公司并未提前发布公告，使得很多普通投资者不知道药捷安康已经😢被纳入国证港股通创新药指数，且截至发稿前，国证指数中心官网上🌟的国证港股通创新药指数样本详情中，依然没有药捷安康的身影。 🤔 展开全文 “很多投资者买ETF是因为其持仓透明，😍但指数公司和基金公司均未及时向公众投资者告知指数调整细节，一😁定程度上损害了投资者的知情权。”有基金评价人士向券商中国记者😡表示。 其次，根据国证港股通创新药指数编制方案，该指数🌟的选样空间需要满足具备互联互通标的资格；公司近一年无重大违规👏、财务报告无重大问题；公司最近一年经营无异常、无重大亏损；考😴察期内股价无异常波动等要求。选样方法分为两步，首先，剔除选样😍空间内最近一年日均成交金额低于1000万港元的股票；然后，对😂选样空间剩余股票按照最近一年日均总市值从高到低排序，选取前 😡50 只股票作为指数样本股，样本数量不足时按实际数量纳入。 😢 “这个指数的编制方法有一些漏洞，首先，药捷安康上市不足😎3个月，其实并不完全满足上述要求中关于‘近一年日均成交金额’😴的要求；其次，这个指数的选样方法也相对简单，没有考虑流通股占🤔比等细节，而药捷安康恰恰是因为流通盘小、流动性不足引发股价大🌟幅波动。”有基金评价人士向券商中国记者表示。 Wind😂数据显示，药捷安康总股本3.97亿股，IPO发售1528万股😴，其中979万股被基石投资者锁定，实际可交易股份仅549万股🌟，占比1.38%。 被动资金频频显威 这并不是E😘TF影响个股波动的首例，随着ETF的规模突破5万亿大关，持股🙄市值也超越主动基金，被动资金已经成为影响市场走向的一股强大力😍量。 特别是9月以来，众多指数集体迎来季度定期调整，E😘TF机制驱动下的被动买入卖出力量更是时常影响市场波动。 🤯 比如，9月15日，科创50、科创芯片、科创AI、科创成长等💯多只科创板指数也迎来季度调整。按照指数编制规则，单个成份股权🥳重不得超过10%，而寒武纪在上述指数中的权重普遍超过指数规定💯的10%上限，带来大量被动资金随之调仓。 Wind数据💯显示，跟踪科创50的ETF规模约1740亿元，若要将寒武纪的🤗权重从15.42%降至10%，将导致这些科创50ETF被动减😁持寒武纪的股票约94亿元。如果再叠加科创芯片、科创AI、科创🔥成长等指数的调整，寒武纪的权重下调或将引起相关指数基金被动卖😡出寒武纪近200亿元的规模，占到寒武纪日成交额的六七成。 👍 “为了避免过度集中抛售，我们会在指数调整公告发布后就慢慢😀调仓，但仍然难免会对股价造成影响。”上述基金经理表示。Win🤩d数据显示，从8月29日指数调整公告发布，至9月15日正式调😡整，寒武纪股价回调了9.31%。 瑞银中国非银金融研究😎团队表示，ETF规模扩张往往会增强市场的流动性，但随着ETF🤔规模进一步增长，纳入和剔除成份股所带来的短期股价波动受被动资👍金进出的影响或将加剧。 华安证券金融工程团队也认为，E🤗TF持有量更多的股票比其他类似的证券更具波动性，且ETF交易❤️产生的波动性至少在短期内是一种不可分散的风险来源，因为指数化😘可能导致资产收益和流动性的更大协同变动。 责编：杨喻程⭐ 排版：刘珺宇 校 对：赵燕 违法和不良信🙌息举报电话：0755-83514034 邮箱：bwb@😎stcn.com返回搜狐，查看更多