文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 🚀9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体🚀外泄事件。 事故发生后，厂区立即启动应急广播并紧急疏散🤯员工。尽管如此，仍有12名现场人员因吸入气体产生不适，被送往😡医院接受治疗。 经初步调查，事故起因为一楼废酸液（含双😍氧水与盐酸）回收管路破裂，导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物🤯使用和贮存区域，因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公🙄司表示，始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环😂境，但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目😍前，中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查，待调查结果😆出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示，正在核查美光的应急措😢施是否符合规定，若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警🙌告通知作业办法》，将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 😁 Fab不仅是技术创新的殿堂，更是一个需要应对全方位、多👏层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技🙌竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 👏 在制作晶圆或半导体器件的过程中，是会用到酒精等易燃易爆化学🔥试剂；晶圆加工的熔炉，温度高达上千度；一点小失误，就会擦枪走😅火。可见，本行业是“易上火体质”。 近年来，半导体行业😆气体泄漏事件时有发生，其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制😂造企业，由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量😘报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日，位于南❤️京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起😂火，经过消防队员两个多小时的奋战，大火最终被控制。事故没有造👏成人员伤亡。 2013年9月4日，韩国海力士半导体位于😢江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府🙄新闻办官方微博“无锡发布”消息，事故是因为海力士公司生产车间😘气体泄漏，引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2😎021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报，LG显示器公🌟司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事👏故，导致工厂内7人受伤，其中2人伤势严重! 2021年🤔4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂，发生了氢氟😆酸泄漏事故，导致3名工人受伤。 2021年5月1日，汕😊尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗ED😎I（电子去离子）系统纯水箱过程中发生窒息事故，致4人死亡，直💯接经济损失约480万元。 2023年8月15日，台南市🙄一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件，363人疏散，未造成人🚀员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有⭐害气体 晶圆厂（Fab）是一个高度复杂但同时潜藏大量高😉危因素的地方，虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间，但其⭐背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 🎉在半导体生产制造过程中，特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料🤗，品类多达上百种，被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、🤔成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时，在半导体🤗生产制造过程中，还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般👏尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微，这些气体一旦发生泄漏😜，会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃😂、易燃的可燃气体。如氢气H2，氨气NH3，磷化氢PH3等； 🚀 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化🙌氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化😆氢HF等； 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害，但惰性🤗气体具有室息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事🤯故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等； 氧化性气体👏有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等，如三🤯氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气（H₂）：氢气😡是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易😢燃的特性，其燃烧范围很宽，在空气中的体积分数为4.0% - 🥳75.6%时，遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中，😆即使是一个小的静电火花或者高温表面，都可能引发氢气燃烧，导致😉火灾甚至爆炸。例如，当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间🤯（如电气设备附近）时，危险系数会急剧上升。 硅烷（Si😜H₄）：硅烷是一种高度易燃的气体，用于化学气相沉积（CVD）😉工艺，该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能🎉自燃，自燃温度约为420℃，一旦泄漏，容易被周围环境中的热源😆（如设备运行产生的热量）点燃，引发火灾。 甲烷（CH₄😴）：甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程，其燃点较低，在空气中的浓度🤯达到一定值时，遇明火易发生爆炸。 乙炔（C₂H₂）：乙😅炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用，属于易燃易爆气体，爆⭐炸极限范围较宽，在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发👍生爆炸。在含有乙炔的系统中，如果气体压力过高、温度异常或者遇👏到强烈的震动等情况，都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这👍种存在大量电气设备和精密仪器的场所，乙炔爆炸可能会造成严重的🤩设备损坏和人员伤亡。 磷化氢（PH₃）：磷化氢是一种无😎色、剧毒且易燃的气体，主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质😢源。它与空气混合可形成易燃的混合物，具有爆炸风险。 乙🌟硼烷（B₂H₆）：乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体，极易燃，常💯温下为无色气体，可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢（A😘sH3）：有剧毒，用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中😜N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaA💯sP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建🔥“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气🥳体攻防战”，现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站🙄或生物实验室的“纵深防御”体系，将危险层层拦截，确保这座创新😜殿堂的平稳运行。 第一道防线：物理隔离与工程控制（被动😎防御） 空间分隔：将最高危的区域（如特气间、化学品供应站）🤯与主生产区（Ballroom）通过防火墙、防爆墙物理隔离，即😉使发生事故，也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送😊系统：所有化学品和特殊气体都通过双套管（Pipe-in-Pi🔥pe）输送。内管输送介质，外管（Scabbard）充入惰性气💯体或连接抽气系统，一旦内管泄漏，危险物质会被立即抽走或警示，😊防止进入Fab环境。 就地处理系统（Scrubber）😅：每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产❤️生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质，这是防止❤️气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线：监测与预警（主动侦🤩察） “电子鼻”网络：Fab内遍布着成千上万个不同气体😊的传感器（GDS, Gas Detection System💯）。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度，一旦😎达到预警阈值，立即在中央控制室报警。 联锁系统（Int😢erlock）：这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如：“如😅果氢气传感器报警，就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发，就🥳自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实💯现瞬时自动响应的关键。 第三道防线：流程与人员 😴严格的准入与操作流程（SOP），进入特定区域需要特殊授权，任😆何操作，哪怕是更换一个气瓶，都必须遵循详细的SOP，确保每一🤗步都可控。另外，常态化应急演练：定期举行全厂范围的泄漏、火灾😁、地震演练，让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么，不🤩该做什么，往哪里疏散”，将应急反应变成肌肉记忆。 美光❤️事件中的管路破裂，正是对第一道防线完整性的考验，而应急广播和👍疏散，则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于，承认任何单一🚀环节都可能失效，因此通过多层备份与智能联动，确保即使一道防线😘被突破，后续防线仍能有效响应，将事故扼杀在萌芽状态，从而维系😂着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐，查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)

唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)

深圳商报•读创客户端记者 陈姝 国庆、中秋8天超长假期🤔激发大众消费热情。日前，美团推出亿元补贴，覆盖餐饮外卖、堂食👍、酒店旅行、休闲玩乐、闪购、医药等“吃住行游娱购医”多业态，🤔并联动“必吃榜”“必玩榜”“必住榜”“必点榜”等“必系列”榜🚀单及“黑珍珠餐厅指南”等，共同为消费者打造“吃玩尽兴、消费安😴心”的假期美好体验。 同时，即日起至10月12日，大众😜点评“品质外卖”将发放5000万张“品质堂食外卖消费券”。 😴 假期期间，美团将联动百万餐饮商家，为消费者提供餐饮堂食👏的优惠团购和外卖到家的便捷体验。 每逢假期，“必吃榜”😢餐厅门口排起的长队都是一道亮丽风景线。今年“十一”假期，大众😢点评“必吃榜”将携手榜单上的一众烟火小店、市井老店，推出近2😡000款最低3折起、平均5折的“必吃套餐”。 10月1🚀日当天，美团餐饮团购还将开启会员专属活动，黑钻会员可随机领取😊20个重点旅游城市的101份地方小吃美食券，当天线上兑换，可😢直接到店消费体验，也可以转赠亲朋好友，一起分享旅行中的特色美🤯食。 即日起至10月12日，大众点评“品质外卖”将发放👏5000万张“品质堂食外卖消费券”，覆盖“必吃榜”“黑珍珠”😂以及高星酒店餐厅外卖，帮游客节省排队时间，在酒店也能吃到品质😘美味。 为帮助商家把握假日增长机遇，实现订单、利润双增🤔长，美团为许多餐饮商家在假期前开通线上预订、VR包间展示、线🤗上排队等数字化工具，高效链接消费者，放大国庆消费的带动作用。🤩 数据显示，临近国庆中秋假期，在美团上开放包间预订服务🙌的餐饮商家数，同比去年增长了174%，新增了不少6人以下小包😊间预订服务。美团餐厅预订数据显示，截至9月30日，国庆假期餐👏厅预订量较去年同期增长超110%，3至4人包间预订量增长超9🔥0%。城市方面，上海、北京、南京、杭州、苏州、广州、天津、深🤯圳、成都、宁波位列今年国庆假期餐饮堂食预订热度TOP10。 😍 据美团旅行数据，今年假期出游高峰从9月27日开始，有望😊持续至10月12日，“十一”假期平台上文旅预订同比增长达73🙌%。为满足用户多样化、个性化的出游需求，美团旅行联合多地文旅🙌和商家推出多项活动，进一步激发消费者假期出游热情。 会😘员权益方面，9月30日起，美团旅行将在机场贵宾厅权益基础上，🥳为黑钻会员新增机场快速通道权益，该权益可覆盖北上广深等城市2😴0个以上机场站点和30个以上航站楼。 出游目的地方面，😜美团旅行通过“美在”目的地计划，联合各地文旅定制目的地旅行专🎉区产品，多样化呈现本地特色旅游服务。为助力一站式深度旅游，美😴团旅行推出低至7折的“奔县游”住玩套餐，同时提供小团游“美团😉好品”服务保障。 国庆、中秋“双节”前，“闪购赠万物”😜成为鲜明的节日礼赠消费趋势——美团闪购白酒、月饼、电脑、坚果🚀礼盒、茶叶等礼赠热品销量激增：节前最后一个周末，平台白酒品类😜销量同比增长约8倍；月饼销量较去年中秋前夕翻倍增长。茅台、五⭐粮液、泸州老窖、汾酒、剑南春等名酒在平台单日成交额均破千万元🙌。 美团核心本地商业相关负责人表示，本次补贴活动重点围🌟绕消费者“吃住行游娱购医”的全场景需求打造，在金秋消费旺季，👍美团希望通过发放补贴、推出品质套餐、升级服务保障等举措，让消😍费者随时随地享受到便捷、优质、高性价比的消费体验。返回搜狐，😅查看更多