文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体外泄事件。 事故发生后，厂区立即启动应急广播并紧急疏散员工。尽管如此，仍有12名现场人员因吸入气体产生不适，被送往医院接受治疗。 经初步调查，事故起因为一楼废酸液（含双氧水与盐酸）回收管路破裂，导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域，因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公司表示，始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环境，但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目前，中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查，待调查结果出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示，正在核查美光的应急措施是否符合规定，若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警告通知作业办法》，将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 Fab不仅是技术创新的殿堂，更是一个需要应对全方位、多层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 在制作晶圆或半导体器件的过程中，是会用到酒精等易燃易爆化学试剂；晶圆加工的熔炉，温度高达上千度；一点小失误，就会擦枪走火。可见，本行业是“易上火体质”。 近年来，半导体行业气体泄漏事件时有发生，其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业，由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日，位于南京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起火，经过消防队员两个多小时的奋战，大火最终被控制。事故没有造成人员伤亡。 2013年9月4日，韩国海力士半导体位于江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府新闻办官方微博“无锡发布”消息，事故是因为海力士公司生产车间气体泄漏，引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报，LG显示器公司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事故，导致工厂内7人受伤，其中2人伤势严重! 2021年4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂，发生了氢氟酸泄漏事故，导致3名工人受伤。 2021年5月1日，汕尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗EDI（电子去离子）系统纯水箱过程中发生窒息事故，致4人死亡，直接经济损失约480万元。 2023年8月15日，台南市一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件，363人疏散，未造成人员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有害气体 晶圆厂（Fab）是一个高度复杂但同时潜藏大量高危因素的地方，虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间，但其背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 在半导体生产制造过程中，特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料，品类多达上百种，被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时，在半导体生产制造过程中，还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微，这些气体一旦发生泄漏，会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃、易燃的可燃气体。如氢气H2，氨气NH3，磷化氢PH3等； 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等； 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害，但惰性气体具有室息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等； 氧化性气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等，如三氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气（H₂）：氢气是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易燃的特性，其燃烧范围很宽，在空气中的体积分数为4.0% - 75.6%时，遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中，即使是一个小的静电火花或者高温表面，都可能引发氢气燃烧，导致火灾甚至爆炸。例如，当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间（如电气设备附近）时，危险系数会急剧上升。 硅烷（SiH₄）：硅烷是一种高度易燃的气体，用于化学气相沉积（CVD）工艺，该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能自燃，自燃温度约为420℃，一旦泄漏，容易被周围环境中的热源（如设备运行产生的热量）点燃，引发火灾。 甲烷（CH₄）：甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程，其燃点较低，在空气中的浓度达到一定值时，遇明火易发生爆炸。 乙炔（C₂H₂）：乙炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用，属于易燃易爆气体，爆炸极限范围较宽，在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发生爆炸。在含有乙炔的系统中，如果气体压力过高、温度异常或者遇到强烈的震动等情况，都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这种存在大量电气设备和精密仪器的场所，乙炔爆炸可能会造成严重的设备损坏和人员伤亡。 磷化氢（PH₃）：磷化氢是一种无色、剧毒且易燃的气体，主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质源。它与空气混合可形成易燃的混合物，具有爆炸风险。 乙硼烷（B₂H₆）：乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体，极易燃，常温下为无色气体，可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢（AsH3）：有剧毒，用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气体攻防战”，现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站或生物实验室的“纵深防御”体系，将危险层层拦截，确保这座创新殿堂的平稳运行。 第一道防线：物理隔离与工程控制（被动防御） 空间分隔：将最高危的区域（如特气间、化学品供应站）与主生产区（Ballroom）通过防火墙、防爆墙物理隔离，即使发生事故，也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送系统：所有化学品和特殊气体都通过双套管（Pipe-in-Pipe）输送。内管输送介质，外管（Scabbard）充入惰性气体或连接抽气系统，一旦内管泄漏，危险物质会被立即抽走或警示，防止进入Fab环境。 就地处理系统（Scrubber）：每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质，这是防止气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线：监测与预警（主动侦察） “电子鼻”网络：Fab内遍布着成千上万个不同气体的传感器（GDS, Gas Detection System）。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度，一旦达到预警阈值，立即在中央控制室报警。 联锁系统（Interlock）：这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如：“如果氢气传感器报警，就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发，就自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实现瞬时自动响应的关键。 第三道防线：流程与人员 严格的准入与操作流程（SOP），进入特定区域需要特殊授权，任何操作，哪怕是更换一个气瓶，都必须遵循详细的SOP，确保每一步都可控。另外，常态化应急演练：定期举行全厂范围的泄漏、火灾、地震演练，让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么，不该做什么，往哪里疏散”，将应急反应变成肌肉记忆。 美光事件中的管路破裂，正是对第一道防线完整性的考验，而应急广播和疏散，则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于，承认任何单一环节都可能失效，因此通过多层备份与智能联动，确保即使一道防线被突破，后续防线仍能有效响应，将事故扼杀在萌芽状态，从而维系着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐，查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

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唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

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文 | 长三角MOMO 文 | 长三角MOMO 刚刚一个朋友，发了我一张不知道谁偷拍的我的“工作照”。 前景是几个朋友在打台球，远景是我抱着电脑，埋头打字。 我回忆了一下，虽然这个假期我时常掏出来电脑处理个事情，但这张台球厅的场景，应该是10月3号拍的。因为除了公众号，公司还有公关服务的业务，那天恰逢周五，需要给客户交周报了。 “感觉这个假期，全世界都在加班。”她说。她是某4A公司的，因为服务的一家手机厂商10号和13号分别在深圳和上海有两场活动，所以虽然在旅游途中，也得随身带着电脑，时不时就要更新下某位老师的行程变更。 在我的记忆里，干我们这行的，几乎没有过完整的假期，总有这样那样的事情。其实不仅自媒体和公关行业，互联网、金融、城市服务、销售等诸多行业，都是一样的情况。 所以前两天有个新闻，有人中秋国庆用微信处理工作，法院判定这属于加班，裁定单位要给他补偿加班费，还引发了不小的争论。 网友表示：微信回个工作消息这也能算加班？这不是发财了。 我看了下各方报道，这还真算。加班还真不再局限于传统的坐在办公室，通过微信等线上工具，在休息时间处理工作，绝对属于加班。 如此说来，在刚刚过去的国庆假期，又有几个人没有过“加班”？ 那问题来了：同样都是牛马，对比国外，中国的打工人为什么就没有福气享受完完整整的假期呢？ 我第一个想到的是，除了“奋斗精神”和“传统服从式职场文化”这些比较虚的原因外，首先从技术层面，最大的因素就是微信。 就工作工具而言，国内用的最多的就是微信，而微信作为全能型工具，集成了社交、支付、生活、工作全部功能。 这就导致了，工作与生活的场景在同一个App里“侵染式”的融合了：你打开微信是想看看家人的动态，却不得不先处理工作群里的@。 而国外习惯的工作工具，主流的比如Slack、Teams、Email等，就是工作没有生活，同时也是“分而治之”的，专用工具用于专业的工作场景。 此外，微信包括钉钉，是“强制提醒”的：消息会推送、会响铃、能拨打语音电话，制造了一种“立刻回复”的紧迫感。虽然在假期不想打开它，但App上的红点，会不断给你制造焦虑。 而Slack、Teams、Email这些，是“可管理”的，通过“勿扰模式”，使用者可以在休假时，直接关闭所有非紧急通知。 展开全文 而上面这些工具差异的背后，其实暴露了我们假期被打扰更深层的原因：国内公司的管理，绝大多数都要求“同步沟通”，即要求对方立刻响应。 而欧美职场，更习惯于“异步沟通”。即：“我提出问题或任务，并不期待你立刻回复。我希望你在自己方便的时候，经过思考后给我一个高质量的回复。” 正是这种不同的公司管理和沟通方式，导致了不同打工人使用工具的不同表现。 国内的牛马：在假期面对领导或者客户微信中发来的“在吗？”，基本不可能保持无动于衷。 国外的牛马：假期根本不打开工作相关的软件，在假期结束时，再回复邮件或者Slack频道里的留言，在项目管理工具中更新任务状态和注释。 除了沟通的时效性，沟通的习惯也不一样，我们中的很多人，已经习惯了碎片化的沟通方式。 就拿自媒体约稿来说，一些国际大厂，会让你发邮件，然后在文档中详细的批注每一处改动，批注里不仅告诉你修改意见，甚至将这段需要参考的链接都给附上。 而国内大部分企业的约稿，都是微信上传来传去，有的企业对接人，每一次修改就说一个意见，我曾经见过一位同行改过十七八个版本的稿件。 就说这次假期，有个朋友手头有个企业约稿要写，每次改完，还得抱着手机等待下一次意见。“感觉休了一个假十一，午休也不敢，出门也要时不时看眼手机，休的七零八落的。” 碎片化的工作沟通，割裂出了碎片化的假期。 比管理和沟通文化的异同，更深层次的原因，还有社会和法律环境。 在欧洲很多国家，都有“断联权”法律，规定企业必须尊重员工在下班后的“断联”权利，不得在非工作时间发送工作邮件。美国很多科技大厂，有完整的带薪休假（PTO）制度，而且鼓励甚至强制员工休完。不休假反而会被经理约谈。 比法条更重要的是，工作和生活严格分开，已经成为欧美社会的普遍认知。而国内，虽然法律上有上述的判例，但“加班文化”，还是主流环境。 那么，如果作为一个管理者，如何才能让公司员工，真正能拥有一段“非商品化”的时间、一种可以对工作说“不”的休憩自由呢？ 这应该是一个重塑公司管理的系统结果。 第一，技术层面，可以尝试使用为分离而设计的工具，比如邮件，尽量降低微信的比重。 第二，流程层面，建立并习惯于异步沟通的工作流程，减少不必要的实时干扰。 第三，管理层面，不再把“工作时长”与“工作态度”等同于“工作效率”，信奉授权、信任和结果导向的管理哲学，并做好员工休假期间的工作规划。 一些小公司，可以考虑在一些项目管理和重大事项决策方面，部分沟通流程从微信上挪到邮件。有条件的，还可以考虑试行一下AB岗，这样哪怕是对接客户的岗位，也有一半的小伙伴可以休个无人打扰的年假。 既然工作的目的是为了更好地生活，而不是让生活成为工作的附属品，那么我们每个人，都需要有一个真正的假期，一个不受侵犯的心境时间，一个可以坦然放下工作手机、不被莫名的焦虑所绑架、全心全意投入到自己生活中的神圣空间。 往大了说，这是我们每一个个体，是“人”而非“人力资源”的尊严。返回搜狐，查看更多