微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题

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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗EDI(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(SiH₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(AsH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pipe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber):每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体的传感器(GDS, Gas Detection System)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Interlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)

唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)

每次我一回老家,都会有个发小主动找上门。 他一坐就是半❤️天,每每都要跟我追忆下往事。 看似是叙旧,可到最后他总🤩会把话题拐到自己身上。 这回让我帮忙介绍个工作,下回又🥳问我借钱装修。 有时候,我念及过去的情谊,好心帮他几次😆忙。 时间久了,他竟理直气壮地要我帮他做事,但凡我拒绝🤔,他就骂我不顾旧情。 我顿感寒心,只当认识了一个白眼狼😘,自此不再搭理他。 有一种人,他们眼里只有自己,总是打💯着关系好的名义,故意占你便宜。 这类人,就是精致的利己😡主义者。 无论你付出多少,都换不来对方的感激,等来的只⭐有得寸进尺地索取。 01 作家苏心有个朋友H,前😴阵子刚跟前老板打完官司。 原来他给前老板打了几个月的工🤗,竟一分钱都没拿到。 当时,他在机缘巧合下认识了他的前🤯老板。 两人一见如故,对方当即便邀请H到自己的公司当C😜FO。 刚开始,H没有答应,毕竟自己工作稳定,薪水也不😜少,没必要跳槽。 可耐不住那位老板三番两次上门,H还是💯被对方的诚意打动。 但入职后,只要H一提签劳动合同的事😡,对方就会说:“咱们就是亲兄弟,哥哥还能亏待亲兄弟吗?” 😂 直到年底,H才发现自己被骗,为了讨回自己应有的薪资,他干🌟脆跟对方打起了官司。 兜兜转转好几个月,这件事才得以了👍结。 你有没有发现,身边总有一些揣着明白装糊涂的人,利😴用你的善良与心软,处处白嫖你。 你越迁就,他就会变本加🎉厉地索要;你越忍耐,他就越肆无忌惮地欺压。 他们就像是😅吸血的蚂蟥,不榨干你最后一滴血,绝不罢休。 作家嵇振颉🎉有个朋友开了家传媒公司,特意邀请他负责项目的文字工作。 😴 嵇振颉觉得两人关系不错,便欣然同意。 展开全文 👍 可当他提出签合同,对方却搪塞说,朋友之间签合同太伤感情了,😊项目结束后,绝对不会亏待你。 嵇振颉听了这番话,也没再😍多说。 后续的一年时间里,他足足写了50万字的文案,采🚀访了近百位的文化名人。 等项目结束后,他找朋友讨要稿费😅。 谁知,对方竟突然翻脸:“你怎么这么功利,为这点钱伤🥳了朋友间的和气?” 最后,随意打发了他几千块钱当作薪酬❤️。 他后来才知道,朋友这个项目的净收益至少60万。 🙌 作家胡辛束曾说过: 爱索取的人,只会将你当作工具利💯用,直到消耗掉你的全部价值。 那些打着和你感情好,一谈⭐钱就翻脸的人,你一定要离得越远越好。 他们把占便宜视作😘精明,然而人人心里都有一杆秤,谁都不傻,只是不说而已。 😢 面对那些低层次的人,不妨凉薄一些,早早远离才是最好的应对之😍道。 02 有没有发现这样一个现象: 层次😂低的人,普遍都是索取思维,脑子里装的都是如何占人便宜; 🔥 而层次高的人,是等价交换思维,他们从不会把钱和情划等号。 😅 感情是感情,利益是利益,别在该谈利益的时候谈感情。 🤩 所谓的谈钱伤感情,不是因为钱太俗,而是因为感情太虚。 😴 把钱和情分清,才不会把麻烦留到以后。 价值互换看似😉功利,但在现实世界里,这才是人与人之间最靠谱的关系。 🔥媒体人杨小米的朋友小白,在上海一家广告公司做策划。 有❤️许多朋友得知后,就特意找上门,想让小白免费给他们做策划。 🔥 他们搬出多年好友的名义,还口口声声说不会耽误很长时间。 😘 好在小白早已看清了他们,果断甩过去一张收费表,上面写了🤩各项策划的费用。 很多人一看找小白做策划还要收费,都不😀再吭声。 也有一些人因为她的专业能力强,愿意为她付费。🤯 面对那些无理要求,小白有两个原则: 一、如果真🤩的不想做,直接以没有时间拒绝; 二、明码标价,把私人请😁求转化成商务往来。 就这样,小白把心思都放在工作上。 🎉 没过几年,她就凭着好口碑被领导升为了策划总监。 😂有句话说: “作为获取一方,主动谈钱是你的修养,是否接🎉受是他的权利;而作为付出一方,主动谈钱是你的选择,是否接受是😍他的修养。” 两个人之间最好的关系,不是不计利益得失。🤗 而是在谈钱时不辜负他人的好意,也不丢了自己的真心。 😢 03 我认识一个朋友,是出了名的冷漠无情。 😴 每次找他帮忙,他都会严词拒绝。 有次,一个关系亲密的🤔朋友请他帮忙担保。 对方哭诉说,自己已经几个月没发工资😘了,日子实在是过不下去了,这次求他帮忙做个担保。 朋友🎉直接一口回绝,气得对方大骂他是个冷血动物。 我调侃他,😅你这么做,就不怕大家说你不近人情吗? 他却说:“不近人😢情,也总好过吃亏。” 是啊,世间万物,大多都能一物换一😉物,唯有真心未必能换来真情。 人心是贪婪的,一旦付出过😘了头,大恩也会变成仇。 你只有强势起来,挑明自己的底线👏,才能建立起自己的规矩。 创业专家徐哲曾说过,他创业这😁一路,几乎把身边的人得罪光了。 他跟大学室友,一毕业就😀合伙创业。 公司走上正轨后,室友希望五五分成。 😉但徐哲认为自己投资了公司,付出了更多心血,而室友只是技术入股🤩,根本分不了那么多。 他果断找到第三方介入,根据裁定,😜他获得了七成股份,还掌控了公司的运营方向。 两人也因此😴分道扬镳。 后来,亲戚知道他在外面开了公司,想让他帮忙💯介绍份工作。 他却直接拒绝对方,最后被骂冷血,多年都不😎曾回老家。 可他从不后悔,因为他早已明白:人情,是束缚😘人赚钱的牢笼。 《沉默的大多数》里说过: “人活💯在世界上有两大义务,一是好好做人,二是不能惯别人的臭毛病。”😁 不是所有人都值得你付出,也不是所有事都值得你放在心上🚀。 一个人最大的清醒,就是不允许任何人白嫖自己。 👍 该拒绝时就拒绝,该绝情时就绝情。 任何时候,都要守住😊自己的能量,远离一切消耗你的人和事,这才是一个人强大的开始。😊 ▽ 国画大师齐白石有这样一段经历。 有次🚀,他为朋友画了一幅《枇杷熟了》。 对方拿到画后,只连连😍称赞,却绝口不提笔金一事。 后来,这位朋友又来求画,齐😎白石不想对方白嫖,就在画作上添了首打油诗以此提醒: 去😍年相见却求画,今日相求又画鱼。致意故人李居士,题诗便是绝交书🤩。 自此,对方也不好意思再向齐白石索画。 想起网😴上曾有个问题:人为什么会变得冷漠? 答案无非就是,真情💯总被利用,心软总被当成柿子捏。 面对他人的予取予求,试😆着无情一点,不要委屈自己,也不要助长别人嚣张气焰。 这👍绝不是冷漠,而是对自己的保护,更是对真心的善待。返回搜狐,查🤯看更多

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