微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题
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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 🚀9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体🚀外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散🤯员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往😡医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双😍氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物🤯使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公🙄司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环😂境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目😍前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果😆出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措😢施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警🙌告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 😁 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多👏层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技🙌竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 👏 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学🔥试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走😅火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业😆气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制😂造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量😘报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南❤️京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起😂火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造👏成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于😢江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府🙄新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间😘气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2😎021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公🌟司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事👏故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年🤔4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟😆酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕😊尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗ED😎I(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直💯接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市🙄一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人🚀员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有⭐害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高😉危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其⭐背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 🎉在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料🤗,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、🤔成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体🤗生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般👏尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏😜,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃😂、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 🚀 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化🙌氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化😆氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性🤗气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事🤯故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体👏有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三🤯氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气😡是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易😢燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 🥳75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,😆即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致😉火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间🤯(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(Si😜H₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)😉工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能🎉自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源😆(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄😴):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度🤯达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙😅炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆⭐炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发👍生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇👏到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这👍种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的🤩设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无😎色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质😢源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙🌟硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常💯温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(A😘sH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中😜N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaA💯sP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建🔥“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气🥳体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站🙄或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新😜殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动😎防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)🤯与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即😉使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送😊系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pi🔥pe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气💯体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,😊防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber)😅:每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产❤️生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止❤️气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦🤩察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体😊的传感器(GDS, Gas Detection System💯)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦😎达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Int😢erlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如😅果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就🥳自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实💯现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 😴严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任😆何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一🤗步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾😁、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不🤩该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光❤️事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和👍疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一🚀环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线😘被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系😂着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多
北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)
天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)
河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)
唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)
秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)
邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)
邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)
保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)
张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)
承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)
沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)
文 | 财能圈 文 | 财能圈 10月10日晚,娃哈哈集团确认了宗馥莉辞去法人代表、董事及董事长职务的消息,距其2024年8月正式接任董事长职务仅过去14个月。这并不是这位“饮料公主”第一次辞职,这已是宗馥莉一年内第二次提出辞职。 据界面新闻报道显示,宗馥莉的辞职申请已于9月12日提交,并通过了集团股东会和董事会的相关程序。 与2024年7月那次“以退为进”的辞职不同,此次她退得彻底,办公室的灯真的灭了,没有反击宣言,更没有股东挽留。 告别娃哈哈:一场早已注定的离别 宗馥莉首次辞职发生在2024年7月,距离宗庆后2月25日逝世不足150天。当时,宗馥莉在《致娃哈哈集团全体员工的函》中直言,杭州市上城区政府及部分股东对其经营管理的质疑,致其无法继续履职。 这场辞职风波在当年8月迎来反转,宗馥莉非但没有离开,反而接替宗庆后出任娃哈哈法定代表人、董事长兼总经理,完成名义上的权力交接。 相较首次“被迫离场”的离任,此次辞职则更为彻底。从“暂时离任”到“彻底退出”,一年间的两次辞职,折射出娃哈哈复杂股权格局下宗馥莉已无力掌控大局。 宗馥莉的辞职实为多重矛盾长期积累的必然结果,其内部困局主要源于三方面。 最直接的导火索是遗产诉讼困局。2025年7月,宗庆后三名非婚生子女以存在家族信托承诺为由,在香港与杭州同步提起诉讼,要求分割价值21亿美元的信托资产及娃哈哈29.4%股权。 尽管娃哈哈官方声称此为家族内部事务,但香港高院于9月26日驳回宗馥莉上诉请求,维持资产冻结禁令。18亿美元资金流动性受限直接冲击企业战略布局。 更棘手的是,这场纠纷暴露了宗庆后生前未厘清的股权传承漏洞,其预留的股权安排既未公证也未完成法律确权,为继任者埋下致命隐患。 股权结构的先天缺陷使宗馥莉陷入“有名无实”的困境。国资持股比例远超宗馥莉个人,而职工持股会背后则是追随宗庆后数十年的老臣群体。这种“混合控股+国资参与”的股权架构,令宗馥莉的每项改革都遭遇双重掣肘。 2025年初,她拟将估值911亿元的387件核心商标转至自有控股公司,因国资方质疑“涉嫌国有资产流失”被迫终止。推进生产线自动化升级时,又因职工持股会担忧影响就业而受阻。控制权与决策权的根本错位,注定其改革举步维艰。 内部改革引发的利益版图重构加速了离职进程。接任后,宗馥莉的系列举措直指娃哈哈沉疴,关停数十家弱关联分公司及低效生产线,清退年销售额过低的中小经销商。 这些本意为优化结构的举措,却撼动了盘根错节的利益网络,被关停企业多与家族关联方有染,清退经销商瓦解了宗庆后时代的“人情利益体”,管理层换血更令元老寝食难安。 展开全文 另立门户:宗馥莉的“战略性退却” 娃哈哈的股权结构自校企改制以来便十分复杂。公司的股权由三方持有:杭州上城区持股46%,宗庆后生前持股29.4%,公司基层工会持股24.6%。 这种“三国鼎立”的格局,使得任何重大决策都需多方博弈。国资代表往往更关注政策合规与稳定,职工持股会则倾向于维护既得利益与就业保障,宗馥莉所代表的创新与变革诉求在缺乏绝对话语权的情况下,极易陷入僵局。 宗馥莉的彻底退出,与其说是失败,不如解读为在既定框架内无法破局后的主动切割。 事实上,宗馥莉辞职前已修好“后路”,早已开始布局自己的“体外版图”,其控股的宏胜集团,在2025年年初就注册了“娃小宗”等46枚全品类商标,宗馥莉的“后娃哈哈”布局早已悄然展开。该公司旗下已陆续整合了她在饮料、包装、营销等领域的多个关联项目。 值得注意的是,宏胜优品旗下的饮料品牌“KellyOne”在高端水及定制化饮品市场表现亮眼,与娃哈哈的传统产品线形成了差异化竞争。 宗馥莉的宏胜系公司9月披露的文件显示,其已启动品牌切换预案,2026年起将全面启用“娃小宗”品牌替代原有商标。这种“体外孵化新品牌”的操作,既是对商标使用权受限的被动应对,也暗含着脱离旧体系束缚的战略考量。 宗馥莉的“战略性退却”或许不是败局,而是另一种开始。她手中握有的宏胜饮料集团已成为宗馥莉的新阵地,这里没有国资股东的掣肘,没有商标使用权的争议,也没有老臣的牵制。宏胜集团这一“体外帝国”,年营收超100亿的体量足以支撑“娃小宗”的培育。 此次辞职后,宗馥莉将全身心投入新平台的运营,其目标显然是打造一个完全由自己掌控、符合其商业理念的“新王国”。 未来走向:娃哈哈与宗馥莉的双重变局 宗馥莉的困境是中国家族企业传承困境的缩影。第一代企业家多靠“强人治理”和模糊的人情关系维系企业运转,这种模式在草莽创业期成效显著,但却给第二代留下了“接力”难题。即股权架构缺乏法律保障、职业经理人体系未建立、新旧战略难以衔接。 对比方太茅氏父子的“三三制”传承,通过“带三年、帮三年、看三年”的渐进式放权实现平稳过渡,美的何享健引入职业经理人方洪波的“控股不控权”模式,娃哈哈的传承显然缺乏提前规划。 宗庆后生前坚持的“三不原则”(不上市、不融资、不贷款)虽造就了企业早期的稳健,但也使其错失了建立现代企业制度的最佳时机。 对于娃哈哈而言,宗馥莉的离去留下了三大亟待解决的悬念。 其一,接班人选择直接决定企业走向,是从内部老臣中提拔,延续传统经营模式,还是引入外部职业经理人,推动市场化改革,亦或是等待家族矛盾平息后宗馥莉回归,都将影响这家民族企业的命运。 其二,品牌战略面临抉择。继续依赖“娃哈哈”这一国民IP,需平衡各方股东利益以解决商标使用权问题,若重新选择其他品牌,则要突破消费者情感壁垒和农夫山泉等巨头的围剿。 其三,经销商与员工信心的重建迫在眉睫,2025年销量已降至去年同期的80%,如何修复渠道关系、化解老员工不满,是维持企业基本盘的关键。 宗馥莉的辞职,标志着娃哈哈正式步入“后宗时代”,这也将同时重塑娃哈哈的发展轨迹与行业格局。对宗馥莉而言,这或许是卸下重担的开始,离开娃哈哈的围城,或许才能找到真正的自己。返回搜狐,查看更多
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