微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题
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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗EDI(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(SiH₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(AsH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pipe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber):每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体的传感器(GDS, Gas Detection System)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Interlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多
北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)
天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)
河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)
唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)
秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)
邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)
邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)
保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)
张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)
承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)
沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)
文 | 李倩说品牌 文 | 李倩说品牌 “做品牌😘”是一个人人都能说、快被说烂的事。这件事太容易被误解了,现实💯语境中,说起“做品牌”,常常是鸡同鸭讲,说的压根不是一回事儿🎉。 举个例子:我在一次CEO闭门讨论会上遇到一个高管,🔥当大家在讨论如何抓住新的内容平台做品牌时,他说:我觉得没有做😜品牌这回事,我们做企业本身就是在做品牌。你看,这就是典型的混😍淆概念了。 “做品牌”,很容易被误读,有两个比较常见的🙌说法: 一、“做品牌”= 好好“做企业”。 品牌🥳=企业,这种理解是把品牌这个词泛化和放大了,认为只要企业做得❤️好就等于品牌做得好。在这种理解视角下,品牌部门、品牌专业,甚🌟至品牌工作本身的存在,价值不大,甚至会觉得品牌部门“可有可无🥳”,品牌专业“没啥大用”,品牌工作就是“敲锣打鼓”。 💯我亲耳听过一家上市公司最大的事业部总经理说:做什么品牌,我们⭐业务部门做好了就有品牌,要什么品牌部门?! 二、“做品😴牌” = 做具体的“营销动作”。 品牌=营销动作,这种💯理解是把品牌这个词功能化了,认为品牌就是一种非常具体的动作,🙌比如做PR(公共关系)、做产品推广、做文案和设计等。这种理解🌟就像是你说“做人力资源”,别人理解成“招人”;你说“做行政”😅,别人理解成“前台接待”。 一旦这样理解“做品牌”,最😴大的后果就是:CEO立刻觉得这事太小了。你们品牌部门自己做做😍就行了,这点事不需要太耽误我的时间。 先明确一下,我今😅天说的"做品牌"不是说做企业,也不是做某个具体的营销动作。这🚀里的“做品牌”= 做企业关键信息的梳理和表达。 这种理🤔解下,品牌要先萃取总结,再营销表达,是一个信息梳理、内容生产😴、营销传递的过程。 如果一个企业,不能意识到做品牌究竟🤩意味着什么,它就无法真正进入到做品牌的过程中,也就无法拿到做🤩品牌带来的成果。要么陷入到“品牌无所谓”的轻视,要么进入到对😎一个具体的“活儿”的考核,漏掉了全局梳理管理的关键工作。 😜 咱们既不要蓄意放大它,也不要刻意缩小它。正常理解它,才能🤩做对做好它。 02 “做品牌”的四大核心议题 如🤩果你认可“做品牌”是值得投入的事,也认可上面所说,“做品牌”😆就是做信息的表达和内容的体验。好,我帮你说清楚“做品牌”都有🌟哪几大板块的工作。 实际上所有“做品牌”的工作,不外乎🚀这四大核心议题。你可以一边思考一边做个归类: 第一大品😢牌工作议题:【我是谁】 展开全文 众所周知的那些😀关于品牌定位、品牌战略、品牌特色、品牌名称、品类和产品、商业😀模式、定价策略、品牌渠道、品牌故事、品牌口号、品牌哲学、品牌😎VI、品牌理念、品牌安全、品牌管理规范、品牌CIS……这些满😎坑满谷的概念、工具,只要是关于说明品牌方自己信息的,都可以归😀到这一类【我是谁】的议题下。 很多时候你可能会被这些概🤔念搞得头昏脑涨,我想说:其实你不必理会这些故弄玄虚的概念,喜😎欢卖弄这些概念也不是什么有益的事情。 你可以把每一个概😴念都当做一个向你发起提问的记者,借助于它的提问,从不同角度,🎉帮你想清楚说清楚【我是谁】。 当然,如果觉得需要专业的🔥外部咨询顾问辅助你来想清楚、表达出来,也是很好的办法。 😘 但不管用什么办法,想清楚说清楚【我是谁】,都是第一重要的品🤔牌工作。这一点如果糊弄过去了,后面三件事绝不可能做好。 😢 我们遇到一些品牌,请我们帮忙直接做“品牌物料”,说已经把品🙌牌是谁的事都想清楚了,就差输出内容了。结果品牌中心轴十要素逐💯一细问下去,能回答上来的,不到三分之一。 【我是谁】要😀经得起方方面面角角落落的追问,才叫真正“说清楚”了。 😡看起来简单,但真正要做到“说清楚”并不容易,要花很多时间很大❤️力气,而只有那些真正有恒心塑造品牌的企业,才会在这件事上不惜🚀投入(主要是时间投入)。 后面我会持续分享这些年遇到的🌟那些在【我是谁】上真花过心思、获得市场奖励的好品牌。 👏第二大品牌工作议题【你是谁】 如果说【我是谁】是品牌对🌟自身的认清和表达,那么,【你是谁】,就是品牌对顾客的洞察和探🙄索。 这个大议题下包含的工作量也很大。既有时髦的所谓市🎉场调研、顾客画像、用户研究、痛点挖掘、顾客旅程、品牌触点等工🔥作,也有基于这些工作产生的内容形式、内容渠道、内容手法、内容😉调性等内容体验的整体策略。 说白了,【你是谁】是研究透😆顾客/受众,并基于这些研究去匹配内容策略的过程。 这个🚀议题处理得好,品牌营销的效率才能真的提上去,也许你会发现,看🔥清楚了【你是谁】之后,好多品牌动作压根就没必要做。 【👏你是谁】决定了一个品牌输出内容的策略,满世界越来越多的内容形👍式(图文、视频、音频、虚拟……)、内容渠道(媒体、门店、经销🤔、私域……),我们到底以什么内容渠道为主,以什么内容形式为主😀呢? 你看,如果人群、旅程和内容策略足够精准,是不是就😴能省掉很多事儿? 第三大品牌工作议题【我们的成果】 😁 光知道【我是谁】【你是谁】只是品牌展示的工作,最好的“做🤔品牌”一定要讲究“品效合一”,因此第三大品牌工作议题就是双方😡碰撞之后产生的【成果】。 没有【成果】的品牌工作,就是😜唱高调,耍流氓。 可能你要问:【成果】是不是就是说购买😡产生销量啊? 不全是。 品牌工作毕竟不只是销售工😊作。品牌工作不单单以“购买”作为评估成果的一个标志,除了购买⭐,还有其他三件事,也可以表示品牌的工作有了“成果”。 😂这三件事分别是:复购、连接、分享,再加上“购买”,一共四大成🤔果。 如果企业高质量完成了【我是谁】、【你是谁】,那么😎围绕着四大成果去反向设计品牌内容和运营动作,好的品牌工作,将🙄会不断提高这四方面的成果表现。 要么能让人直接拿钱投票😡(直接下单),要么能让人产生复购或转介绍(买了又买,劝别人买⭐),要么能让人产生和你主动连接的动作(点赞、投票、留言、UG😉C、参加活动、扣1、说话、到店……),要么能让人分享你的产品🙄和内容(转发、传播、拍照、举例、转告……)。 你看,如🥳果【我是谁】说得够清楚,【你是谁】做的够清楚,四大【成果】运🎉营得够极致,说得绝对一点,一个品牌的所有顾客/潜在顾客都至少👏可以满足购买、复购、连接、分享四大效果中的一项。 这,🎉才是最精准的品效合一。 第四大品牌工作议题【内容的效率🤗】 做到了成果,不意味着“做品牌”的工作就结束了。 😘 好的“做品牌”不仅要看“成果”,还要看“效率”。我们究竟🤩用了多长时间、多少投入、多大精力做到了这样的一个“成果”,这😉个过程是否可以不断优化?不断提高上述所有内容的生产效率? 🔥 这个过程中包括但不限于:在梳理品牌过程中对管理的效率、在😴企业内部跨部门品牌沟通的协作效率、内容团队生产内容的效率、内😂容团队的管理效率、内容团队的协作效率、AI辅助内容生成等新趋😴势的试用效率…… 你看,这些问题几乎都聚焦在做品牌这件😎事的“内部摩擦力”上。 事实上,这些看起来很抽象的问题😂,都是有方法、工具、流程可以解决掉的。 毕竟,德鲁克老🤯先生说过:凡是不能被测量的事,都无法被管理。既然我们想要“管😉理品牌”工作,那么就需要想到办法“测量”这些事,不断用工具、😆数据加速,让做品牌的正向飞轮转动起来。 这是很容易被企🚀业忽略掉的一块“做品牌”的工作板块,不管是大企业小企业,在品💯牌内容工作过程中,都会产生大量的沟通和管理成本,而这部分成本🎉,是完全可以压缩提效的。 结语 以上,我试图用最🤔简朴的语言把“做品牌”这件事说清楚,希望能在你的脑海里建立起🌟清晰的一张地图,让做品牌这件复杂的事从此明了起来。返回搜狐,😍查看更多
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