微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题

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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗EDI(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(SiH₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(AsH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pipe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber):每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体的传感器(GDS, Gas Detection System)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Interlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多

北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)

天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)

河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)

唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)

秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)

邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)

邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)

保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)

张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)

承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)

沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)

文 | 雷达财经,作者 | 彭程,编辑 | 孟帅 文 😢| 雷达财经,作者 | 彭程,编辑 | 孟帅 还未等“👍A股好父亲”朱兴明给女儿转赠股权一事的热度完全散去,78岁的🤩“A股好岳父”刘冀鲁给女婿转让超2.8亿元股份的消息又在互联😉网刷屏。 9月22日晚间,顺丰控股发布公告称,股东及监🌟事刘冀鲁计划在11月1日至12月31日期间以大宗交易方式向女😅婿转让不超过700万股A股股份。 若按顺丰控股9月22👍日收盘时40.32元/股的股价计算,刘冀鲁此次转让给女婿的股😀份总价或超2.8亿元。 顺丰控股在公告中提到,本次转让😎出于“家庭资产规划需要”,属于公司股东及其一致行动人之间的内👏部行为,不涉及向市场减持。 尽管此次股权转让事件对公司😂和市场并无太大影响,但刘冀鲁的特殊身份和其背后的故事仍引发外🎉界关注。 据悉,顺丰控股于2017年借壳上市时,其借壳😊对象鼎泰新材的实际控制人正是刘冀鲁。身为鼎泰新材原董事长的他🥳,在借壳完成后担任顺丰控股监事。 得益于顺丰控股借壳上😴市后的亮眼表现,刘冀鲁被外界冠以“最牛监事”的称号。不过,去👏年刘冀鲁在《胡润百富榜》上的财富为50亿元,较2020年的1😁05亿元缩水一半以上。 再将视线转至顺丰控股,上半年,😴该公司实现营业收入1468.58亿元,同比增长9.26%;归🤗母净利润达57.38亿元,同比增长19.37%。 不过💯,雷达财经注意到,顺丰控股看似光鲜的业绩下,也暗藏业绩增速有😜所放缓、毛利率下滑、单票收入持续下降等隐忧。 “A股好😉岳父”刘冀鲁,转给女婿2.8亿元股份 公告显示,此次股🔥份转让的转让方为刘冀鲁,受让方为赵颖坤,而赵颖坤正是是刘冀鲁🌟的女婿。9月22日,双方已就股份转让事宜签署《股份转让暨一致😍行动人协议》。 根据《股份转让暨一致行动人协议》,本次😜股份转让的实施时间区间计划为2025年11月1日至12月31😉日,转让方式限定为大宗交易。本次转让股份数量上限为700万股🔥,占公司总股本的比例不超过0.14%。 本次转让前,刘😁冀鲁持有顺丰控股0.71%的股份,赵颖坤未持有公司股份。本次😉转让完成后,刘冀鲁于顺丰控股的持股比例降至0.57%,其女婿🤗赵颖坤的持股比例则从0升至0.14%。 同花顺iFin😴D显示,截至9月22日收盘,顺丰控股股价报40.32元/股,😴当日股价呈现下跌走势,跌幅为1.85%。若以9月22日的收盘😎价为计算基准,刘冀鲁此次计划转让给赵颖坤的700万股股份总价😅超2.8亿元。 顺丰控股在这则公告中强调,本次股份转让🥳出于转让人的家庭资产规划需要,系股东刘冀鲁与其一致行动人之间🚀的内部转让,刘冀鲁及其一致行动人合计持股数量和持股比例未发生😊变化,不涉及向市场减持。 展开全文 与此同时,此😁次股权转让事宜亦不会对顺丰控股的控股股东及实际控制人产生影响👍,公司的控股股东仍为深圳明德控股有限公司,实际控制人为王卫。😁 顺丰控股还在公告中提到,刘冀鲁及其一致行动人将根据家😅庭资产规划需要等情形决定是否实施本计划。本次内部转让计划存在🥳转让时间、数量、交易价格的不确定性,也存在是否按期实施完成的😊不确定性,公司将依据计划进展情况按规定进行信息披露。 👍78岁“最牛监事”刘冀鲁,身家较高点缩水超一半 此次给🙄女婿转让顺丰控股股份的刘冀鲁,被不少媒体称作“最牛监事”。如😂今已78岁的他,职业生涯可谓颇具传奇色彩。 公开资料显😂示,刘冀鲁于1947年出生,拥有安徽大学经济管理专业背景,职😂业生涯横跨实业与资本市场。 据顺丰控股发布的年报,19❤️94年至2016年,刘冀鲁曾历任马鞍山市鼎泰金属制品公司负责😂人、马鞍山市鼎泰科技有限责任公司董事长兼总经理、马鞍山鼎泰稀😘土新材料股份有限公司董事长兼总经理。 天眼查显示,目前👏刘冀鲁名下共关联13家企业,为存续状态的有6家。其中,刘冀鲁🤯不仅在顺丰控股股份有限公司持有股份,还在该公司担任监事。 🤯 时间回拨至2010年,刘冀鲁带领鼎泰新材在深交所上市。2😴016年,顺丰控股开始筹划借壳上市一事,而顺丰控股彼时选中的❤️“壳”正是刘冀鲁掌舵的鼎泰新材。借壳后,鼎泰新材董事会进行改⭐组,原董事长刘冀鲁不再是董事会成员,仅担任监事。 20😎17年,顺丰控股在深交所举行重组更名暨上市仪式,借此正式登陆🥳A股资本市场。而由于刘冀鲁在顺丰借壳上市过程中的亮眼表现,其🙄被外界冠以“最牛监事”的称号。 据每日经济新闻,在顺丰😉控股完成更名后的7个交易日内,公司的股价四次涨停。凭借手中所🙌持有的股份,刘冀鲁的身家也随之大幅攀升。 据央视财经此🔥前的报道,通过此次借壳交易,刘冀鲁当时持股市值净增加56亿元😍。而2010年至2015年期间,鼎泰新材的平均年归母净利润仅👍约0.36亿元。 雷达财经注意到,顺丰控股借壳上市后的💯几年时间,刘冀鲁多次跻身《胡润百富榜》。2020年,刘冀鲁、😴刘凌云父女在该榜单上的财富创下105亿元的最高纪录,成为资本👏市场中“实业转型资本运作”的又一经典案例。 不过,在去🥳年的《胡润百富榜》上,刘冀鲁、刘凌云父女的财富已缩水至50亿⭐元,身家相较巅峰时期缩水一半以上。 亚洲最大物流龙头,😍亮眼中报背后暗藏隐忧 作为家喻户晓的国民品牌,顺丰经过❤️多年发展,已成为亚洲最大、全球第四大综合物流服务提供商(根据❤️弗若斯特沙利文报告,以2024年度总收入计)。 此番股😴东筹划股权转让事宜之际,顺丰控股上半年的业绩表现呈现出稳健增😂长的态势。半年报显示,上半年,顺丰控股实现营业收入1468.😁58亿元,同比增长9.26%;归母净利润达57.38亿元,同😡比增长19.37%。 在资本结构方面,截至报告期末,顺😀丰控股的总资产规模达2182亿元,归属于上市公司股东的净资产🤗954亿元,资产负债率51.35%,较2024年末的52.1🥳4%下降0.79个百分点,资本结构整体保持稳健。 同时😂,顺丰控股上半年的经营活动现金流量净额为129亿元,保持现金🔥流充裕;自由现金流入为87.4亿元,同比增长6.1%。 😜 然而,顺丰控股这份看似亮眼的成绩单背后,还暗藏业绩增速呈放🌟缓趋势、毛利率下滑、单票收入持续下降等隐忧。 同花顺i😴FinD数据显示,2022年至2024年以及今年上半年,顺丰😊控股的归母净利润和扣非净利润增速均呈现持续下降态势。尤其是扣😅非净利润,其在前述时间段内的增速分别为190.97%、33.😢67%、28.2%、9.72%,从三位数降至个位数。 😢与此同时,上半年,顺丰控股的毛利率为13.22%,较去年同期😂也减少0.6个百分点。 从费用来看,上半年,顺丰控股的😉销售费用达到17.62亿元,同比增长19.8%,而同期公司的🚀营收增速只有9.26%。 对此,顺丰控股表示,销售费用😆的增长主要系公司加快销售团队建设步伐,助力行业化与国际化业务😢拓展。 研发方面,上半年,顺丰控股的研发投入达14.8⭐3亿元,同比减少7.42%。 作为公司的核心业务,物流🤔及货运代理板块上半年为顺丰控股贡献收入1435.31亿元,同😉比增长10.23%,占总收入的97.73%。 上半年,😎顺丰控股的总件量达成78.5亿票,同比实现25.7%的增长,🚀件量增速高于快递行业整体水平。 对此,顺丰控股解释称,👍速运物流业务的业务量同比增长25.7%,主要得益于公司持续完😅善产品矩阵及强化服务竞争力,不断渗透国内生产制造及生活消费领🤗域客户的端到端物流场景,稳步扩大业务规模,实现收入快速增长。😎 不过,由于产品结构的变化,顺丰控股上半年的票均收入为🤔14元/票,与上年同期的15.9元/票相比下降12.2%。 😘 数据显示,2018年至2022年间,顺丰控股的票均收入🙄整体从23.18元/票降至15.73元/票,五年累计跌幅超三😴成;2023年虽短暂回升至16.06元/票,但未能扭转整体下🙄行态势;2024年再度回落至15.52元/票。 根据公😎司最新披露的《8月快递物流业务经营简报》,8月,顺丰控股速运😘物流业务的单票收入为13.27元/票,环比7月的13.55元😉/票下降2.07%,同比则下降15.32%,高于上半年的整体😴下降比例。 另外,8月,顺丰控股的供应链及国际业务实现🤩收入61.3亿元,同比下降7.61%。对此,公司表示,由于国❤️际贸易波动及货运市场需求趋缓,海运价格较去年同期高位明显回落🥳,影响公司国际货运代理业务收入。 事实上,随着行业持续🤯已久的低价竞争,头部企业纷纷采取“以量取胜”策略,使得行业毛🤔利率越来越低,尤其是以加盟制为代表的中通、圆通、韵达、申通等🎉公司。 不过,据媒体报道,近日,极兔、中通、圆通等五家❤️头部快递企业同步上调上海地区收件价格,涨幅为0.2元/单至0😎.4元/单。 据悉,本轮调价范围为低价规模化电商件,对😉个人散件寄递的价格暂无影响。亦有快递网点工作人员表示,确实接😴到涨价通知。 对此,浙商证券认为,行业提价可能持续,加😉盟商和上市公司业绩均有望实现修复,随着9月旺季到来,或能看到💯价格更大范围企稳回升,快递业绩及板块情绪均预将实现阶段性修复😜。 东兴证券也指出,提价对行业盈利的增益较为明显,预计😡行业单票收入的上行还会持续一段时间。返回搜狐,查看更多

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