微观世界的堡垒:晶圆厂的复杂安全问题
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文 | 半导体产业纵横 文 | 半导体产业纵横 😢9月存储制造商美光位于中国台湾台中后里的三厂近日发生不明气体😜外泄事件。 事故发生后,厂区立即启动应急广播并紧急疏散👍员工。尽管如此,仍有12名现场人员因吸入气体产生不适,被送往😆医院接受治疗。 经初步调查,事故起因为一楼废酸液(含双😁氧水与盐酸)回收管路破裂,导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物😘使用和贮存区域,因此未被认定为毒化物泄漏事故。 美光公🤔司表示,始终致力于为员工及合作承包商提供安全、受保障的工作环😎境,但未明确回应此次事故是否对产线及产能造成影响。 目❤️前,中部科学园区管理局已要求美光台中三厂停工检查,待调查结果🙌出炉并完成改善后方可复工。环保局也表示,正在核查美光的应急措❤️施是否符合规定,若违反《空气污染突发事故紧急应变措施计划及警🤗告通知作业办法》,将依法处以最高2000万元新台币的罚款。 😢 Fab不仅是技术创新的殿堂,更是一个需要应对全方位、多🤯层次安全挑战的“微观堡垒”。其安全问题直接关乎国家经济、科技😘竞争力和国家安全。 精密之衡—— 生产与环境安全 😆 在制作晶圆或半导体器件的过程中,是会用到酒精等易燃易爆化学😆试剂;晶圆加工的熔炉,温度高达上千度;一点小失误,就会擦枪走😉火。可见,本行业是“易上火体质”。 近年来,半导体行业🤯气体泄漏事件时有发生,其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制😅造企业,由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量😢报废、人员伤亡等事故。 2012年10月19日,位于南😡京溧水石湫镇南京华特硅材料有限公司发生硅烷气体泄漏导致燃爆起🌟火,经过消防队员两个多小时的奋战,大火最终被控制。事故没有造😎成人员伤亡。 2013年9月4日,韩国海力士半导体位于😁江苏无锡新区锡兴路与泰山路东南侧的厂区发生大火。据无锡市政府😆新闻办官方微博“无锡发布”消息,事故是因为海力士公司生产车间🤗气体泄漏,引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着火。 2😁021年1月13日, 据韩国警方和消防部门通报,LG显示器公🤔司位于首尔以北坡州市的P8面板工厂发生铵类有害化学物质泄漏事😡故,导致工厂内7人受伤,其中2人伤势严重! 2021年🌟4月6日韩国半导体制造商SK海力士旗下的一座工厂,发生了氢氟😴酸泄漏事故,导致3名工人受伤。 2021年5月1日,汕😂尾市精新科技有限公司在信利半导体有限公司26厂房一楼清洗ED😅I(电子去离子)系统纯水箱过程中发生窒息事故,致4人死亡,直😴接经济损失约480万元。 2023年8月15日,台南市😴一间半导体设备厂发生一起毒气泄漏事件,363人疏散,未造成人❤️员伤亡。 展开全文 半导体行业涉及的易燃、有毒有😀害气体 晶圆厂(Fab)是一个高度复杂但同时潜藏大量高😜危因素的地方,虽然表面看起来是洁净、自动化的高科技车间,但其😘背后涉及高温、高压、毒气、强腐蚀性化学品等潜在危险。 ⭐在半导体生产制造过程中,特种气体是仅次于硅片的第二大制造材料🔥,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。主要应用于光刻、刻蚀、😊成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体😀生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般🤔尾气等气体。在工作环境中的允许浓度极微,这些气体一旦发生泄漏😘,会对身体产生极大的伤害。 易燃性气体一般指可发生自燃💯、易燃的可燃气体。如氢气H2,氨气NH3,磷化氢PH3等; 🎉 毒性气体是指对人体有害、有毒的。如砷化氢AsH3、磷化⭐氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化😂氢HF等; 惰性气体一般不会直接对人体产生伤害,但惰性😆气体具有室息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人室息而造成工伤事😢故。如六氟乙烷C2F6、四氟甲烷CF4等; 氧化性气体👏有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等,如三😎氟化氯CIF3、三氟化氮NF3等。 氢气(H₂):氢气😂是一种常见的用于某些特殊溅射工艺或设备清洗的气体。它具有极易😊燃的特性,其燃烧范围很宽,在空气中的体积分数为4.0% - 😎75.6%时,遇到火源就会发生剧烈燃烧。在半导体制造环境中,🥳即使是一个小的静电火花或者高温表面,都可能引发氢气燃烧,导致😉火灾甚至爆炸。例如,当氢气泄漏到一个封闭的、有潜在火源的空间🤯(如电气设备附近)时,危险系数会急剧上升。 硅烷(Si🤔H₄):硅烷是一种高度易燃的气体,用于化学气相沉积(CVD)❤️工艺,该工艺有时与溅射工艺协同用于半导体制造。硅烷在空气中能👍自燃,自燃温度约为420℃,一旦泄漏,容易被周围环境中的热源🌟(如设备运行产生的热量)点燃,引发火灾。 甲烷(CH₄🔥):甲烷用于硅片的生长和刻蚀过程,其燃点较低,在空气中的浓度🚀达到一定值时,遇明火易发生爆炸。 乙炔(C₂H₂):乙😂炔在一些特殊的半导体表面处理工艺中使用,属于易燃易爆气体,爆❤️炸极限范围较宽,在空气中体积分数为2.5%-82%时都可能发🌟生爆炸。在含有乙炔的系统中,如果气体压力过高、温度异常或者遇🤗到强烈的震动等情况,都可能引发爆炸。特别是在半导体制造车间这🙄种存在大量电气设备和精密仪器的场所,乙炔爆炸可能会造成严重的😅设备损坏和人员伤亡。 磷化氢(PH₃):磷化氢是一种无❤️色、剧毒且易燃的气体,主要用于硅烷外延的掺杂剂和磷扩散的杂质🎉源。它与空气混合可形成易燃的混合物,具有爆炸风险。 乙🌟硼烷(B₂H₆):乙硼烷是一种窒息臭味的剧毒气体,极易燃,常🤗温下为无色气体,可用作半导体工业的掺杂源。 砷化氢(A🙌sH3):有剧毒,用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中🙌N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaA💯sP)以及与某些元素形成化合物半导体。 Fab如何构建🤩“纵深防御”体系 面对天生的“易上火体质”和复杂的“气😴体攻防战”,现代Fab并非坐以待毙。它通过构建一套堪比核电站😜或生物实验室的“纵深防御”体系,将危险层层拦截,确保这座创新🎉殿堂的平稳运行。 第一道防线:物理隔离与工程控制(被动😀防御) 空间分隔:将最高危的区域(如特气间、化学品供应站)🥳与主生产区(Ballroom)通过防火墙、防爆墙物理隔离,即😆使发生事故,也能将其控制在最小范围内。 专属管道与输送🥳系统:所有化学品和特殊气体都通过双套管(Pipe-in-Pi🎉pe)输送。内管输送介质,外管(Scabbard)充入惰性气🔥体或连接抽气系统,一旦内管泄漏,危险物质会被立即抽走或警示,👍防止进入Fab环境。 就地处理系统(Scrubber)😊:每一台使用危险气体的设备都直接连接着“尾气处理器”。工艺产🤯生的有毒、易燃废气在排出前就被转化为无害或低害物质,这是防止😴气体外泄至厂区的核心关卡。 第二道防线:监测与预警(主动侦😆察) “电子鼻”网络:Fab内遍布着成千上万个不同气体👏的传感器(GDS, Gas Detection System😂)。它们像哨兵一样7x24小时监测空气中特定气体的浓度,一旦❤️达到预警阈值,立即在中央控制室报警。 联锁系统(Int😡erlock):这是一套“如果…就…”的自动逻辑。例如:“如🤔果氢气传感器报警,就自动关闭氢气总阀门”、“如果火警触发,就😂自动切断该区域的电源和气源”。联锁系统是避免人为反应不及、实❤️现瞬时自动响应的关键。 第三道防线:流程与人员 😴严格的准入与操作流程(SOP),进入特定区域需要特殊授权,任🥳何操作,哪怕是更换一个气瓶,都必须遵循详细的SOP,确保每一❤️步都可控。另外,常态化应急演练:定期举行全厂范围的泄漏、火灾❤️、地震演练,让每一位员工都清楚在不同警报响起时“该做什么,不🚀该做什么,往哪里疏散”,将应急反应变成肌肉记忆。 美光😉事件中的管路破裂,正是对第一道防线完整性的考验,而应急广播和🤔疏散,则是第三道防线的启动。这套体系的核心在于,承认任何单一💯环节都可能失效,因此通过多层备份与智能联动,确保即使一道防线😜被突破,后续防线仍能有效响应,将事故扼杀在萌芽状态,从而维系😁着精妙而脆弱的平衡。返回搜狐,查看更多
北京市:市辖区:(东城区、西城区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区、房山区、通州区、顺义区、昌平区、大兴区、怀柔区、平谷区、密云区、延庆区)
天津市:市辖区:(和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、东丽区、西青区、津南区、北辰区、武清区、宝坻区、滨海新区、宁河区、静海区、蓟州区)
河北省:石家庄市:(长安区、桥西区、新华区、井陉矿区、裕华区、藁城区、鹿泉区、栾城区、井陉县、正定县、行唐县、灵寿县、高邑县、深泽县、赞皇县、无极县、平山县、元氏县、赵县、石家庄高新技术产业开发区、石家庄循环化工园区、辛集市、晋州市、新乐市)
唐山市:(路南区、路北区、古冶区、开平区、丰南区、丰润区、曹妃甸区、滦南县、乐亭县、迁西县、玉田县、河北唐山芦台经济开发区、唐山市汉沽管理区、唐山高新技术产业开发区、河北唐山海港经济开发区、遵化市、迁安市、滦州市)
秦皇岛市:(海港区、山海关区、北戴河区、抚宁区、青龙满族自治县、昌黎县、卢龙县、秦皇岛市经济技术开发区、北戴河新区)
邯郸市:(邯山区、丛台区、复兴区、峰峰矿区、肥乡区、永年区、临漳县、成安县、大名县、涉县、磁县、邱县、鸡泽县、广平县、馆陶县、魏县、曲周县、邯郸经济技术开发区、邯郸冀南新区、武安市)
邢台市:(襄都区、信都区、任泽区、南和区、临城县、内丘县、柏乡县、隆尧县、宁晋县、巨鹿县、新河县、广宗县、平乡县、威县、清河县、临西县、河北邢台经济开发区、南宫市、沙河市)
保定市:(竞秀区、莲池区、满城区、清苑区、徐水区、涞水县、阜平县、定兴县、唐县、高阳县、容城县、涞源县、望都县、安新县、易县、曲阳县、蠡县、顺平县、博野县、雄县、保定高新技术产业开发区、保定白沟新城、涿州市、定州市、安国市、高碑店市)
张家口市:(桥东区、桥西区、宣化区、下花园区、万全区、崇礼区、张北县、康保县、沽源县、尚义县、蔚县、阳原县、怀安县、怀来县、涿鹿县、赤城县、张家口经济开发区、张家口市察北管理区、张家口市塞北管理区)
承德市:(双桥区、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、兴隆县、滦平县、隆化县、丰宁满族自治县、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、承德高新技术产业开发区、平泉市)
沧州市:(新华区、运河区、沧县、青县、东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、吴桥县、献县、孟村回族自治县、河北沧州经济开发区、沧州高新技术产业开发区、沧州渤海新区、泊头市、任丘市、黄骅市、河间市)
新兴市场动态 1、马来西亚积极推动《东盟数字经济框架协😉议》达成实质性成果 在2025年世界经济论坛东盟数字经😊济商务对话会上,投资、贸易及工业部秘书长拿督海里尔指出,作为😜全球增长最快的区域之一,东盟需通力合作推进数字化转型,通过D🚀EFA等区域重点倡议,打造充分释放数字潜能、统一而紧密的数字🤔共同体。马来西亚积极推动落实东盟数字经济框架协议(DEFA)👏,马来西亚投资、贸易与工业部长 Tengku Datuk S😘eri Zafrul Abdul Aziz 日前表示,马来西🎉亚已完成两个重点经济成果(PEDs)的谈判,分别为《东盟-中⭐国自由贸易协定》(ASEAN-China Free Trad😂e Agreement,ACFTA)和《东盟货物贸易协定》(🙄Asean Trade in Goods Agreement🤩,ATIGA),预计将于10月签署。 2、沙特阿拉伯或👏将取消外资持股上限规则 据报道,沙特阿拉伯正考虑对外资😡持股规则进行重大调整,或将取消当前针对上市公司的外资持股上限😜。根据现行规定,外资持股比例不得超过49%,而新规可能允许外😆资投资者持有上市公司多数股权。根据彭博社的报道,该规定可能在😊2025年底前实施。摩根大通和 EFG Hermes 的分析😍师表示,如果规则发生变化,新投资可能超过 100 亿美元。酋🙌长国迪拜国民银行(Emirates NBD)代理研究主管兼首😉席经济学家 Edward Bell 表示,据资本市场管理局一😀位董事会成员透露,沙特阿拉伯正考虑将上市股票的外资持股上限提😂高至超过现行的49%。允许外资持股份额的增加将增加沙特阿拉伯😊上市股票对更多被动投资者的吸引力,并增加其在全球基准指数中的👍份额。 3、越南拟出台直播带货新法 越南工业与贸❤️易部提出电商法律草案,正处国会常务委员会讨论阶段,预计10月😀提交国会审议,旨在规范直播带货等线上活动,提升市场透明度并保⭐护消费者权益。草案要求国内外卖家、直播带货者等经VNeID数🚀字平台实名认证,平台需承担核实与实时监测责任;禁止虚假宣传,⭐联盟营销需建追踪机制。 4、刚果(金)以配额制替代钴出🤯口禁令 刚果(金)结束钴出口禁令,改为实行出口配额制度😴,预计配额规模不足以满足下游需求,钴资源供应趋紧。我国企业加🥳速开拓海外钴资源开发、回收等多元化供给渠道。刚果(金)钴矿储❤️量全球占比 55%,产量占比 76%,我国精炼钻产量全球占比😴约八成。现货市场钻产品报价上涨部分企业暂停报价,观望为主。刚🌟果(金)将允许出口逾1.8万吨钴,配额将根据企业历史出口量比😅例分配。中国企业需积极开拓印尼钴资源,寻求多元供给迫在眉睫,🌟资源回收行业更具商业性。 平台动态一览 1、亚马😢逊扩大多渠道配送服务(MCF)覆盖范围 ,向SHEIN、Sh🤩opify和沃尔玛商家开放服务 日前,据亚马逊官网披露🔥,该平台正式宣布其第三方物流产品——亚马逊多渠道配送服务(M😅CF),将扩展覆盖范围,向SHEIN、Shopify和沃尔玛🙄平台的商家开放服务。此前MCF服务已助力eBay、Etsy、😴Temu和TikTok Shop等其他销售渠道的商家实现配送👏。得益于和亚马逊物流(FBA)共享库存池,MCF服务能够赋能🤯卖家简化配送流程,通过现有物流渠道增加销售额,并迅速在新的平😎台开展业务。这大幅降低了企业在其入驻的各个平台都需要单独布局😂履约能力所耗费的时间和成本投入,为商家提供了更快捷的解决方案🙌。 展开全文 2、TikTok Shop美区黑五😎和秋促报名正式启动 TikTok Shop美国站已正式😴开启秋季大促及黑五活动的报名通道,并推出三项核心权益升级:首🚀先,平台将以全额优惠券替代商家部分出资,仅收取1%的服务费(🔥在有效订单结算时扣除);其次,报名商品将自动激活GMV Ma❤️x广告计划并进入大促模式,以提升其曝光率和转化率;最后,商家🎉可以在活动价格的基础上设置额外折扣。此次大促面向中国内地、中😜国香港及美国的商家开放,商家需通过卖家中心的营销入口提交商品🤔,同时关注价格审核和折扣灵活调整机制。 3、Shope😢e越南和泰国站点物流佣金上涨 Shopee跨境店宣布,😂将自10月1日起提高越南站点南宁仓订单的佣金费率,从9.82❤️%调整至12.17%。同时,标准渠道与快速渠道的SLS物流成🎉本也将进行同步调整。至于泰国站点,自11月1日起,南宁仓的佣🤗金将在原有9.63%-11.77%区间上调至16.05%-1🚀8.19%。部分SLS物流渠道费用也将在10月1日同步更新。🚀此次调整适用于南宁仓店铺和一店多运店铺中的相关订单,卖家需登🔥录企业微信查看完整费率表,并利用藏价工具及时调整商品定价,以😁避免因藏价不足而造成经济损失。 4、Temu再度刷新黑🚀五大促纪录,预热阶段提前至十月上旬 Temu官方宣布,😆其美国站黑色星期五大促将于10月9日14:00正式启动预热,😉持续至11月29日15:59结束,全周期长达51天,再次刷新😆了Temu黑五大促持续时长的纪录。本次大促分预热期(10月9🥳日-11月1日)和活动期(10月31日-11月29日)两阶段🔥,平台统一设置八折与八五折两档优惠。对比2024年的黑五大促😊,今年Temu的促销周期整体延长了4天,启动时间提前了11天🔥。 5、速卖通推出“超级品牌计划” 对标亚马逊 😂阿里速卖通启动“超级品牌出海计划”,用品牌在亚马逊一半的成本🎉,实现更高成交。此举被视为对亚马逊发起正面挑战,争夺中高端品🥳牌。速卖通的首批目标是瞄准2000个品牌。根据品牌所处阶段的🤔不同,速卖通将其划分为三类——潜力品牌、成熟跨境品牌和国际大😀牌,并针对性地推出定制化解决方案,覆盖品牌全生命周期。速卖通😉为此还成立了一支专门的团队,定位为品牌的“服务顾问”。 🤩 6、TikTok美国新方案:合资公司仅负责数据、内容安全 😁 当地时间9月25日,美国总统特朗普签署行政令,批准了一😉项TikTok交易协议,并明确协议的基础条款。根据行政令,T🤗ikTok的美国应用将成立一家新的合资公司。这家新的合资公司👍将由美国人持有多数股权。知情人士称,TikTok美国运营方案🥳将主要包含两个主体:字节跳动TikTok美国公司(BD Ti🥳kTok US)由字节跳动100%持有,也是新方案中的主体运⭐营公司,将负责TikTok美国业务的商业及相关运营活动(电商🤔、品牌广告等)、TikTok全球互联互通及产品和工程技术支持😎等。另一个主体为TikTok美国数据安全合资公司(TikTo😡k USDS Joint Venture),将负责TikTo🤔k美国数据安全、内容保障、软件保障及相关本土业务;该公司将引😢入外部投资人增资扩股,字节跳动将持股19.9%,仍为其最大单🌟一股东。 热门行业观察 1、机构:上半年全球消费🌟智能摄像头累计出货6665万台,同比增长2.7% 9月❤️23日,国际数据公司(IDC)最新报告显示,2025年第二季🙄度全球智能摄像头市场(包含消费级室内和室外摄像头,含运营商渠❤️道)出货3278.4万台,同比增长0.9%,其中亚太(不含中🤩国及日本)、美国、加拿大市场已经出现同比下滑。2025上半年🤯,全球消费智能摄像头累计出货6665万台,同比增长2.7%,😎其中拉美市场同比增长26%,为全球增长最快区域;中国智能摄像🙄头市场出货2359.2万台,同比增长3.1%,增速逐步放缓。😍 2、巴西零售策略调整:2025年黑五投资减少 圣诞季💯成为利润增长的核心 9月24日消息,巴西零售业在202🚀5年的策略发生了重大变化,多家零售商计划减少黑色星期五的广告😂投入,将营销资源重心转向圣诞购物季。巴西零售领袖协会(CND💯L)执行经理Daniel Sakamoto表示,此举旨在防止😢黑五促销对圣诞季高利润空间的侵蚀。尽管黑五依然是电子产品销售🥳的高峰期,但消费者对折扣的敏感性有所下降,部分商品甚至出现了😜价格先上涨后下降的现象。 服务生态动向 1、多哈👍哈马德国际机场携手北京大兴机场,共促卡中航空联通 多哈😘哈马德国际机场与北京大兴国际机场签署姊妹机场谅解备忘录(Mo🌟U),在卡塔尔航空与中国南方航空的合作伙伴关系,以及卡塔尔民😉航局(QCAA)与中国民航局(CAAC)签署的谅解备忘录基础😉之上,深化航空合作。卡塔尔机场管理与运营公司(MATAR)与🤩北京首都国际机场集团有限公司(大兴机场运营方)将共同推进合作🎉项目,共建全球枢纽典范。目前,哈马德国际机场已通航中国9座城🥳市,经多哈可连接全球120多个目的地。北京大兴则成为南航继广😊州后第二个通往多哈的直飞门户,补充卡塔尔航空与厦门航空的航线😂网络。 2、寻汇SUNRATE正式接入Google P🤯ay 9月26日,全球支付与财资管理服务商寻汇SUNR❤️ATE正式宣布,其商务卡产品已成功接入Google Pay,😴支持全球企业用户直接通过安卓设备完成付款,享受更高效、更安全💯、更便捷的支付体验。通过此次集成,寻汇SUNRATE商务卡持🙌卡人可将卡片添加至Google Pay,在线下门店、应用程序👏及线上平台轻松完成非接触式支付。依托Google Pay强大🔥的安全与隐私保护机制,企业在全球范围内不仅能安心交易,还能体❤️验更顺畅的结账流程。3、DHL宣布恢复美国包裹运输服务 全球🙄物流限制逐步缓解9月24日消息,DHL宣布将在未来几周内恢复👍其美国包裹运输服务。此前,由于特朗普政府实施的关税政策,全球😡物流受到了显著限制,发往美国的国际包裹数量骤降了81%。DH👍L董事会成员Nikola Hagleitner表示,目前已获😂得更加明确的美国海关新流程信息,美国方面的透明度有所提高,这🔥为运输的恢复创造了有利条件。 海外政策异动 1、❤️欧盟拟改革隐私法规,或终结网页「同意 cookies」弹窗 ⭐ 据 POLITICO 报道,欧盟委员会正计划对 200😆9 年修订的《电子隐私指令》进行重大调整,意在减少网页上泛滥😊的「同意 cookies」弹窗。该指令要求网站在向用户设备写😂入 cookies 前必须征得同意,除非这些 cookies👏 属于「提供服务所必需」。多年来,这一规定导致用户频繁面对弹🤔窗,习惯性点击同意,反而削弱了隐私保护的实际效果。欧盟方面正😘在考虑允许用户在浏览器等统一位置一次性设定 cookies 😘偏好,或为「技术必要」及「简单统计」类 cookies 免除😎同意要求。 2、越南要求超1000美元跨境支付需上报,🚀2026年生效据 《越南投资者》报道,越南央行要求银行😘从今年 11 月开始报告每笔 5 亿越南盾或以上的国内转账,🤗以加强反洗钱监管。新规定还涵盖跨境支付,要求向监管机构报告 🥳1,000 美元或以上的交易。金融机构必须在 12 月底之前👏调整其内部系统和流程,然后于 2026 年 1 月 1 日全🤗面合规生效。 【信息来源】AMZ123、DHL、东方财🔥富网、界面新闻、澎湃新闻、沙特人、钛媒体APP、新华社、亿邦🙄动力、亿恩网*根据字母排序 图片来源:AI / 网络返回搜狐👍,查看更多
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